電子氣體的領導者 供應半導體、太陽能、面板和 LED市場

2 聯華林德：電子氣體的領導者

您的電子合作夥伴

我們知道客戶面臨著許多的需求和挑戰：要創新、

要在技術上處於領先地位、要即時地在全球提供優

質的產品。

這也是我們所關心的……

聯華林德：電子氣體的領導者 3

4 聯華林德：電子氣體的領導者

聯華林德是聯華實業股份有限公司和林德集團共同 成立的合資公司，也是全台灣最大的氣體製造商之 一。

聯華林德透過與林德集團的密切合作，能夠提供各種高品質的氣體

和氣體應用技術。除此之外，為了因應市場的快速成長，聯華林德

也投資大量資金於高效能的氣體生產設備。

使命與目標

聯華林德的口號是”利用全球化的氣體專業為

在地夥伴提供最優質的服務 ”(Local partner,

global expertise)， 我們的使命是為客戶創造

價值，客戶的價值就是我們的價值。

安全始終是我們的首要任務。我們不斷努力提高產品的品質和可

靠性，同時致力於透過與林德的合作和多元的在地化生產獲得多

種資源，以提供供應鏈全面性的解決方案。我們憑藉豐富的運營

經驗、林德先進設備的支持以及與客戶深厚的關係，打造卓越不

凡的競爭力。

產品與服務

聯華林德生產和銷售包括電子、化學、金屬、玻璃、

食品與飲料、實驗室、醫療保健等諸多行業所需的

大宗氣體與特殊氣體。

我們的大宗氣體產品包括氮氣(N2)、氧氣(O2)、氫氣(H2)、氬氣(Ar)和

氦氣(He)。特殊氣體包括笑氣(N2O)，二氧化碳(CO2)，矽甲烷(SiH4)，

氨氣(NH3)，三氟化氮(NF3)，雷射氣體，鍺甲烷(GeH4)，八氟環丁烷

(C4F8)等，主要銷售於台灣和中國大陸。除了提供高純度，高品質的氣

體外，我們還透過多元的供應基地、強大的工程和運營經驗來確保客

戶的供應安全性和可靠性。聯華林德也提供設備安裝和維護服務，以

及全面的氣體和化學品管理服務。

聯華林德：電子氣體的領導者 5

台灣投資分佈

客戶現場On-site

PGP大宗氣體工廠

ESG特氣工廠

AUECC聯仕化學品工廠

特氣倉庫

電子研發中心

新竹科學園區

台中科學園區

→ 聯華林德建置氮氣地下管網及大宗氣體廠區於新

竹，台中，台南三大科學園區。

台南科學園區

中國大陸投資分佈

→ 聯華林德大宗氣體工廠分佈於遼寧，北京，江

蘇，上海，浙江，湖北，江西，廣東，福建，

四川等省份及直轄市

→ 江蘇，福建設有電子特氣工廠

→ 江蘇，上海設有電子特氣倉庫

客戶現場生產設備

大宗氣體工廠

電子特氣工廠

6 聯華林德：電子氣體的領導者

為幫助您取得成功，我們將持續地投資和發展製程

、工程和在地化的解決方案。我們將與您密切合作

以了解、參與和滿足您不斷變化的需求。

品質

我們將提供一個整體、貫通且全面性的品質系

統，繼而涵蓋至整個供應鏈。

我們透過以下方面提供最優質的產品：

→嚴謹量測

→氣體純度，一致性和可靠性

→營運持續計劃

→製程和統計品管控制

安全

在聯華林德，我們的目標是避免對人或環境

造成傷害，為此，我們不斷地努力提升產品

及服務的品質和安全。員工及客戶的健康和

安全，以及對環境的保護，對我們來說都是

同等重要。

→ 安全第一的文化

→ 將安全深植到製造流程中

→ 致力於零事故

我們提供廣泛的產品組合：包括環境可持續性的解決方案、嚴謹控管的電子特殊氣體、大宗和管線氣體的設備和服務。

聯華林德：電子氣體的領導者 7

環境領導者

電子製造工廠並不總是處於材料供應的最佳位

置，因此考慮如何在現場進行材料回收、純化

和再利用以節約運輸成本、降低物流風險、減

少碳排放是非常重要的。

我們透過以下方式支援可持續的製造業：

→節能型 SPECTRA®氮氣工廠

→材料的回收和再利用

→降低排放的氟氣技術

→降低二氧化碳排的解決方案

聯華林德的 Generation-F® 氟氣技術科技提供具成本效益的腔體清洗解

決方案，通過置換溫室氣體來加快生產並減少對環境的影響。

承諾

我們將致力實現對於電子產業、合作夥伴和

員工的承諾。

我們藉由以下方式實現我們的承諾：

→ 在園區投資大宗和管線的基礎設施

→ 與客戶合作在地化的解決方案

→ 開發新的應用程序以持續擴大電子特殊氣體產品組合

→ 與原材料供應商密切的合作

聯華林德大宗氣體生產網絡確保在任何您所需求的用量下，提供可靠

的高純度氣體產品：氮氣，氧氣，氬氣，氫氣，氦氣和二氧化碳。

專業技術

我們提供廣泛的產品組合和服務，為客戶增添最

高的價值。

我們的主要供應能力有：

→現場供應工廠（設計，製造和運行）

→大宗氣體（連續的高純度的氣體供應）

→特殊氣體（合成、純化、混合、分析和包裝）

→現場服務（材料運輸和管理）

→採購和全球供應鏈管理

半導體市場

利用我們的全球化資源為世界上任何一家晶圓廠提供超

高純度氣體、化學品和服務

聯華林德：電子氣體的領導者 9

半導體產業是最具活力，最先進和最具競爭力的市場之一。超高純度氣體和化學品業務

也隨著半導體產業的持續成長而蓬勃發展。生產廠需要一個具有全球影響力和具備安全

技術能力的可靠夥伴以確保創新、高品質、低管理成本以及降低對於環境的汙染。

聯華林德是全球半導體製造商的首選技術合作夥伴。我們提供廣泛的電子特殊氣體和大

宗氣體解決方案 – 以全球供應鏈為後盾 - 為您帶來高品質、嚴謹的測量、一致性、可靠

性和可持續發展的產品與服務。

電子特殊氣體

在電子半導體製造中使用大量電子特殊氣體。以下是聯華林德所提供的最常見的幾種電子特殊氣體：

爐管反應腔體的清洗 氟氣/ 氮氣(F2/N2)

二氧化矽或者其他矽基材料的電漿蝕刻 氟碳化合物(CxFy)

用於電漿蝕刻矽相關材料 六氟化硫(SF6)

浸潤式微影製程；清洗製程中去除靜電；參雜；深極紫外光刻中做為雷射光源 高純二氧化碳(CO2)

電漿蝕刻 一氧化碳(CO)

用於矽的同向電漿或 III-V化合物的蝕刻 溴化氫(HBr)

磊晶成長及蝕刻清洗 氯化氫(HCl)

化學氣相沉積氮化矽，氮氧化矽薄膜；去除光阻；金屬薄膜生長中作還原劑 氨氣(NH3)

二氧化矽，氮氧化矽等含氮薄膜生長。化學氣相和原子層沉積使用 笑氣(N2O)

裸晶圓生長磊晶的前驅物，特別是對於晶片開始的製備 三氯氫矽(SiHCl2)

生長磊晶矽；二氧化矽、氮化矽、氮氧化矽、矽化鍺等薄膜 二氯氫矽(SiH2Cl2)

用於低溫成長氮化矽、氧化矽、氮氧化矽介電薄膜 六氯乙矽烷(Si2Cl6)

低溫矽成膜的前軀體，可生長超薄且高品質的磊晶薄膜,用於先進製程 乙矽烷(Si2H6)

廣泛應用於矽和含矽薄膜的生長；金屬矽化物的生長（例如矽化鎢等）；鎢薄膜的還原劑 矽甲烷(SiH4)

在晶圓上生長矽化鍺 SiGe (silicon-germanium)薄膜的前驅物 鍺甲烷 Germane (GeH4)

D

Si

Si

Si

10 聯華林德：電子氣體的領導者

微影氣體

林德是業界公認製造 DUV(深紫外光)準分子雷射氣體混合物的領導者。我們的 SPECTRA微影氣體已使用於半導體微影技術長達 20多年。我們將

稀有氣體和鹵素的主要製程(混合、分析和鋼瓶處理)與專有技術相結合，以確保客戶的微影設備達到最高的穩定性的運行。

同位素

我們的生產和純化技術超越了分子水平，為許多領先的製程應用提供同位素純特殊氣體。11BF3和

其他 11B化合物使設計的裝置可以避免熱中子俘獲效應的不利影響。同樣的，使用氘(D2)和氘取代

氣體使裝置可以抵抗對熱電子的損傷。隨著摩爾定律的推動，裝置的尺寸將小於 10奈米，我們極

具價值的同位素解決方案有助於成功地實現最小尺寸裝置的設計。

Trap

氘鈍化

電子大宗氣體

用於製造半導體的主要的大宗氣體是氮氣，氫氣，氬氣，氦氣，氧氣和二氧化碳。

N2是目前半導體製造中使用最多的氣體，用於吹淨真空泵、排放系統，還可以用來作為製程

氣體。在大型的先進廠區，氮氣的消耗量可達每小時 5萬立方米，這迫使得廠區需要成本效

益好，低能耗的現場製氮機。

氮氣(N2)

O2用於在蝕刻製程中產生氧化物層。現場可提供少於 10ppb不純物的超純液態氧（LOX）且無

需外部淨化器。

氧氣(O2)

由於更大的生產廠和更先進製程需求，H2的使用量逐漸增加，用於矽和矽鍺的磊晶沉積和表

面處理。隨著 EUV（極紫外光）的轉變，氫氣的需求量將繼續增長。聯華林德已經準備就緒

，可以透過壓縮氣體或液體形式（僅在美國和歐洲）提供氫氣，或在現場通過甲皖與水蒸氣形

成解製備氫氣。

氫氣(H2)

He是第二輕的元素和最冷的液體，用於電子製造中的冷卻，電漿製程和洩漏檢驗。

氦氣(He)

CO2可用於先進的浸潤式微影技術，專用低溫清洗應用以及 DI(去離子水)處理。

二氧化碳(CO2)

Ar用於電漿沉積和蝕刻製程的工廠中，亦可用於深紫外線微影雷射中，半導體晶片上最小的

圖案。液化氬氣的液滴逐漸多使用於清洗最小、最脆弱的晶片結構碎屑。

氬氣(Ar)

D

Si

Si

Si

D

Si

Si

Si

Si

Si

Si

聯華林德：電子氣體的領導者 11

SPECTRA-N現場氮氣供應量

10ppb

0.5ppm

1ppm

0

250

6,000 15,000 30,000

Flow (Nm3/h)

50,000

氮氣

林德長期為全球領先的企業並且率先推

出 商 業 氣體 純 化 和 液 化 工 廠 。 我們 的

SPECTRA-N系列製氮機設計可以滿足規

模較大客戶的需求並具有最高的運轉效

率。

氦氣

林德管理世界上最大和最多樣化的氦氣

生產，產品源位於五大洲，並且還積極

投資新的長期供應源。

氫氣

我們為廠區氫氣生產提供 SMR和電解廠，

均可以滿足客戶的純度和用量的需求。

純化器

純化器

SPECTRA-N

CRYOSS

大宗液體

不純

物含

量

太陽能市場

通過領先及完整的氣體和化學解決方案，為全球太陽能產

業增加價值

聯華林德：電子氣體的領導者 13

太陽能製造商正在尋求提高產量和電池效率以及降低製造成本的方法。這需要像聯華林

德這樣強大、可靠且具備專業技術的合作夥伴。聯華林德可為太陽能生產過程中使用的

各種專業材料提供專門的解決方案。

太陽能合作夥伴的首選

我們的潔淨能源、全球氣體和工程能力使我們成為各種規模和

各個地區的太陽能電池製造商首選的材料技術合作夥伴。我們

的技術和解決方案透過改善二氧化碳排放量、創新的氣體和化

學技術降低每瓦的成本以幫助太陽能製造商超越電網平價，達

到綠色平價。

為太陽能產業提供的服務

→ 多元的產品組合、對客戶需求的響應和穩健的供應鏈，能夠將

我們的產品運送到世界上的任何地方

→於客戶廠區提供強大的氣體工程能力和化學品運輸系統

→憑藉太陽能產業多年開發的專業技術，以及透過與設備製造商和

終端用戶的合作，得以支援我們持續發展的專業技術

強調技術開發

我們除了率先開發新產品和技術以幫助太陽能產業提高太陽能電池的

效率和製造能力，目前亦正在推動從濕式到乾式工藝的趨勢。憑藉我

們在薄膜矽太陽能領域的專業技術，我們的乾式製程技術正在實現更

加智慧化的矽晶體製造。

林德參加了幾個技術合作項目，如：

→ 林德成功實施的薄膜太陽能 PEPPER計畫使用分子氟清洗 PECVD腔室

，並大幅減少了清洗時間

→ EuroPlas計畫，林德正在將分子氟用於矽晶圓的乾式織構化處理，也

為未來的技術轉型做好了充分的準備：例如使用更廣泛的材料組合製造

PERC和異質結電池。

異質結

我們有望提供異質結技術所需的所有氣體，這可以提供非常高的效率。

透過我們在薄膜太陽能和面板產業的發展，我們對適用於異質結電池製

造的製程和氣體應用有深入的了解。我們還可以幫助您降低成本，提高

生產效率，進一步提高電池效率。

太陽能產品組合和供應鏈

作為全球氣體和材料供應商，我們提供全領域的氣體和化學產品，以支持所有的矽晶體電池製造製程。這包括超純度大宗氣體，鋼瓶電子特殊氣體

和大宗氣體供應，以及特殊和濕式製程化學品。多年來，我們在全球供應鏈中擁有無與倫比的專業技術，能夠將產品運送到世界各地。隨著東南亞

及其他地區新型電池製造業的發展，聯華林德有能力在這一領域提供完整且安全的供應鏈。

大宗氣體 電子特殊氣體

氟氣(F2) 氧氣(O2)

氯氣(Cl2) 氮氣(N2)

六氟化硫(SF6)

四氟化碳(CF4) 氫氣(H2)

矽甲烷(SiH4) 砷化氫(AsH3)，乙硼烷(B2H6)，磷化氫(PH3)混合物

氦氣(He)

笑氣(N2O)

氨氣(NH3) 氬氣(Ar)

面板市場

為世界各地的面板產業提供服務 – 以亞洲完善的氣體基礎

設施作為後盾

聯華林德：電子氣體的領導者 15

面板製造需要供應大規模的超高純度氣體。隨著這個產業的動態發展，面板製造商希望

氣體合作夥伴具備承受能力、可靠和彈性，像聯華林德這樣除了可以提供本地供應，亦

具有全球供應鏈背景為後盾的合作夥伴。

全球範圍

聯華林德作為面板產業的全球供應商，在中國，韓國和台灣設有

專門的製程氣體生產設備，並在全亞洲建立了供應大宗氣體的基

礎設施。我們還提供全面的電子特殊氣體產品組合，用於清洗腔

室並提供現場氟氣系統，藉此降低碳排放量並減少清洗週期時間。

除了製造面板所需的氣體外，我們還提供獨特的增值技術解決方

案和統包專案計劃，以幫助客戶實現其低環境汙染和成本效益目

標。

中國面板產業供應大宗和電子特殊氣體的領導者

作為中國電子市場領先的氣體供應商，隨著中國面板業的蓬勃發

展，我們已經成為中國面板產業主要的大宗和電子特殊氣體供應

商。我們從中國三大面板製造商獲得了製造 Gen 8.5設備的主要

大宗氣體供應合約，為此，我們亦在中國建立了兩家 Gen 8 TFT-

LCD現場大宗氣體工廠。這些統包計劃包括全面氣體基礎設施和

實際氣體的供應。諸如此類的指標性項目展現了我們致力於通過

一流的氣體技術和創新來快速擴張面板市場。

用於面板產業的氣體

為面板產業提供服務

→ 具有成本效益的大宗氣體供應，包括大型現場 SPECTRA-N高純度製

氮機，這是為面板製造商提供所需要的大量超純度氮氣中，最具成

本 效 益 和 最 可 靠 的 方 式 。 當 氣 體 不 純 物 濃 度 低 於 1ppb 的 時 ，

SPECTRA-N製氮機耗電量遠低於傳統的製氮機，同時能提供極佳的降

壓功能，以滿足設備升級的需求。

→ 專用的全面性電子特殊氣體產品組合和面板產業的全球供應鏈

→ 中國，台灣，韓國的新一代高純度笑氣(N2O)設備，支援下一代面板

技術

→ 現場 Generation-F製氟機，用於清洗腔室，降低製造產生的碳排放及

保證供應安全，特別是 Gen 10和更大的製造工廠

在中國氣體生產基地的林德團隊

大宗氣體 電子特殊氣體

磷烷/氫氣(PH3/ H2)混合物 氧氣(O2)

笑氣(N2O)

氮氣(N2)

三氟化氮(NF3) 氫氣(H2)

雷射氣體(Ne混合物，Xe) 氦氣(He)

六氟化硫(SF6)

四氟化碳(CF4)

二氧化碳(CO2)

矽甲烷(SiH4)

氨氣(NH3)

氬氣(Ar)

LED市場

提供全部的高純度大宗和特殊氣體並統包現場設備，實現

最大的靈活性和提升效率

聯華林德：電子氣體的領導者 17

LED應用於液晶電視背光和低能耗普通照明的應用正在迅速增加，為了因應這個不斷擴大

的市場，LED製造商需要大量的氮氣、高純度氨氣，氫氣和氫化物，所以，他們需要像聯

華林德這樣靈活的供應合作夥伴，可以支持產業快速且具有成本效益的成長。

可靠的合作夥伴和無縫接軌的產品供應鏈

聯華林德可供應製造 LED所需的全部的大宗和電子特殊氣體。

隨著材料需求的發展，我們也致力於開發強大的運輸解決方案，

有靈活可靠的供應鏈為後盾，以提高最大的生產效率。

→聯華林德在中國，台灣和韓國擁有超高純度氨氣的在地生產設

備，這大約已經是全球的 LED 80％生產能力

→作為全球氣體供應商，我們建立了氮氣生產網絡，可以供應給

世界各地的客戶

現場供應

我們提供了電子材料產品組合和全球供應鏈，為大型 LED工廠提供統包

的工程能力：包括完整的產品組合，氣體，工程和服務。這些現場設

施確保了連續且靈活的氣體供應，並降低了與多個供應商聯繫的複雜

性。標準化和模組化設計為您提供了最大的成本效益和可靠性的優勢。

→ 現場氨氣純化器

→ SPECTRA-N現場製氮機

→ 現場高純度製氫機

LED固態照明製造材料

下表中是我們提供 LED製造商的主要的大宗和電子特殊氣體

大宗氣體 電子特殊氣體

笑氣(N2O)

六氟化硫(SF6)

氯化氫(HCl)

矽甲烷(SiH4) 四氟化碳(CF4) 氮氣(N2)

磷烷(PH3) 氨氣(NH3) 氫氣(H2)

18 聯華林德：電子氣體的領導者

電子行業的其他供應 聯華林德提供硬體和專業的工程和材料管理服務。我們通過確保安全流暢的製造流程和定期分享詳細的氣體及化學品知識，來幫助客戶大幅減少

停機時間和風險。

硬體

→大宗特殊氣體系統

→氣櫃和氣體分流管

→氣體分流閥箱及盤面

服務

→統包設計和工程

→氣體和化學品全面性管理

→材料全面性管理

超純度濕式化學品

透過與我們的合資企業聯仕電子化學材料股份有限公司(AUECC)- 為全

球高科技行業提供濕式化學品的供應商，為電子製造商提供化學品。

聯華林德：電子氣體的領導者 19

現場服務

聯華林德提供廣泛的專業服務，可以讓您專注於您的核心業務，並確保您的業務順利運行。這些服務包括現場服務，統包設計，安裝服務，以及

您的氣體和化學品的管理、分配系統和設備。

您在哪裡我們就在哪裡。我們的全球電子特殊氣體工廠網絡意味著我們可以在客戶和其他主要材料供應商所在地進行供應。我們為您提供專業的

氣體知識，以及更加全面的供應資源。我們提供所有的包裝尺寸，以提供最佳的物流和供應方案。

我們所做的一切都是我們對品質和安全的承諾。

我們嚴謹的控管材料品質，因為我們知道材料的生產、供應和分配的品質對客戶的成功至關重要。此外，安全亦是我們的首要關注點。我們將努

力保護員工、承包商、客戶和團隊的健康和安全，並共同管理我們合作夥伴的環境。

聯華林德 品質 承諾 專業 技術 環境的領導者

聯華林德是全球領先的供應商，為電子市場 - 半導體，太陽能，面板和 LED提供氣源。

聯華林德是聯華實業股份有限公司和林德集團共同成立的合資公司，也是全台灣最大的工業氣體製造商之一。聯華林德

透過與林德集團的密切合作，能夠提供各種高品質的氣體和氣體應用技術。此外，為了因應市場的快速成長，聯華林德

也投資大量資金於高效的氣體生產設備。

林德電子是林德集團的一部分，林德集團是世界領先的氣體和工程公司之一，在全球 100多個國家擁有約 6.5萬名員工。

公司致力於將客戶價值和可持續發展目標相結合的技術和產品。

林德電子透過專注於安全，品質，環境領導力和專業技術幫助電子公司實現他們的目標。我們將持續地投資和發展製程、

工程和在地化的解決方案、嚴謹控管的電子特殊氣體、大宗和管道氣體設備和服務，達到對產業承諾、與客戶密切合作，

以了解、參與和滿足產業及客戶不斷變化的需求。

銷售據點

亞洲

中國 +86 21 6105 9888轉 9310

印度 +91 33 2401 7408

韓國 +82 2 780 9331

馬來西亞 +60 3 7955 4233

菲律賓 +63 2 702 7500

新加坡 +65 6866 3190

台灣 +886 2 2786 6000

泰國 +66 2 338 6100

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