DC Probe Station DC Probe Station 基本操作教學基本操作教學

講員：陳永昌(DC組長)聯絡：陳永昌(鄭裕庭實驗室)工程四館636室，分機54223

羅毅人(郭治群實驗室)工程四館635室，分機54187

Outline• Introduction

• DC Probe Station

• Keithley 708A Switch

• Agilent 8110A

• HP 4156B

• Agilent 4284A

Introduction(1/2)

門

鐵櫃

鐵架

電腦桌DC Probe

Station

桌子

電腦桌

鐵櫃

電腦桌 ProbeStation

儀器架

儀器架

RF-1 Probe Station

活動式鐵架

移動櫃子 桌子

桌子

儀器架

桌子

Introduction(2/2)

載台抽氣PUMP開關 載台加熱器

顯微鏡燈源

儀器架

DC下針平台

進來的門

DC Probe Station (1/4)CCD：以前有外接到螢幕可以觀看，現在無作用

顯微鏡上下移動旋鈕：粗細調聚焦用

顯微鏡前後左右移動旋鈕：移動觀看位置，以前發生過皮帶斷裂，故非

必要，禁止使用顯微鏡物鏡：切換倍率時，務必先抬高顯微鏡以免撞針

針座：下針用

載台前後左右移動旋鈕：先移出放試片在移入，抽氣孔在正中間

抽氣開關：切換抽氣用

DC Probe Station (2/4)

Probe 1

Probe 2 Probe 3

Probe 4

Probe 1~4對應接到Switch的腳位，之後可設定對應儀器，故請勿動牆上線轉接頭位置在不移動顯微鏡的前提下，一開始先將四根針尖移至顯微鏡看得到的位置

下針時，顯微鏡先聚焦至元件表面，慢慢移動下針時，會看到針漸漸清晰，碰到pad時

針在往下會看到針略往前推，此時下針完成

DC Probe Station (3/4)探針(左) 探針(右)

順時鐘抬針逆時鐘下針

針座左右移動

針座前後移動

當針座移動不穩定時，除了考量後端

線拉到外，針座亦可能用久鬆掉，可

用六角板手鎖緊(三個移動方向皆有)

彈簧可內推抽換

針，針由下而上裝

避免弄歪針尖，針

請盡量自備

先粗略調整下針

高度並鎖緊，避

免針太高下不到

或太低撞到

注意下針到底時別

頂到平台

DC Probe Station (4/4)

顯微鏡燈源：功率請以六七成為主，勿轉

至最大避免影響使用壽命，

使用完畢轉至最左邊加熱器：有需要者使用，按

調整游

標位置並按

設定溫度，

設定完成後按SET套用，加

熱時扳On

Instruments

半導體參數分析儀：HP4156B

脈衝產生器：Agilent 8110A 150 MHz Pulse Generator

多通道開關控制器及切換卡：Keithley 708A

元件阻抗分析儀：Agilent 4284A

Keithley 708A Switch對應DC Probe 1~4

打開電源，以觸控筆靠近按開關點

選，設定，之後請按面板COPY鍵確

定

1. Switch(正面)

2. Switch(背面)

A~D 對應至HP4156B SMU 1~4

3. HP4156B(背面)

4. Switch(背面)(右側)欲使用阻抗分析儀

前，先將DUT兩側接

線接至Switch下排未

用到的部分，如E、

F，再行設定對應，

使用完畢再拆下來。

Agilent 8110A

*一或二個頻道的脈波/碼型產生器*1.00 Hz至150 MHz，從50歐姆到50歐姆時為10V*150 Mb/s，RZ/NRZ*4 kb的資料及可變的脈波參數*BNC輸出

Agilent 8110A

1. 打開電源2. 用方向鍵b控制游標a位址，按SHIFT去設定3. 用轉盤b去修改參數選單4. 用這些按鈕去修改參數，按SHIFT+MORE或按同一個鍵兩次

切換文字/圖顯示5. 用DATA ENTRY的按鍵去輸入值6. 用記憶卡去存取儀器設定或更新韌體7. EXT INPUT，最大外部±15V8. STROBE OUT，最大外部-2V/+7V，Pulses模式不可用9. TRIGGER OUT，最大外部-2V/+7V10. OUTPUT 1/2，最大外部±25V 詳細功能請參考Agilent 8110A manual

HP 4156B

移動游標

輸入面板

切換輸入文字

修改量測時間

量測切換設定畫面

切換設定畫面

MODE：I電流，V電壓FCTN：CONST由輸入決定，VAR變數可設定限制輸出正負20V，1W

編輯輸入文字

HP 4156B

以VNAM及INAME之代號定義新

的名稱顯示，例如:

定義 R 單位 Ω 運算式 (V2-V3)/I1

則可以在Graphics/List顯示

• USER FCTN

START：輸入量測起始值

STEP：量測間距

NO OF STEP：給定量測點數

Compliance：最大給定電流或電壓，超過會被限

制住TIMING：HOLD TIME：每個Step持續時間DELAY TIME：每個Step間隔時間

HP 4156B• USER VAR

設定顯示在GRAPHICS的量

測圖XY軸變數及顯示範圍，

或是設定顯示在LIST的數據

表格

HP 4156B• DISPLAY SETUP - GRAPHICS

MARKER On 可透過轉盤移

動看值，SCALING可調整顯

示範圍，按GRAPHICS/LIST

可切換圖/表格

HP 4156B• GRAPHICS/LIST

Agilent 4284A

Agilent 4284A

移動游標 輸入面板

切換設定畫面

切換設定畫面

• DISPLAY FORMAT

Agilent 4284A

FUNC：設定量測等效阻抗模型

FREQ：待測頻率

LEVEL：訊號電壓

INTEG：量測時間

AVG：設定量測次數來平均顯示

ALC：定電壓或定電流

• MEAS SETUP

Agilent 4284A• MEAS SETUP - CORRECTION

先設定FUNC阻抗模型，量測前可先依校正方式做OPEN開路、SHORT短路、LOAD

負載(略過)校正，也可針對特定頻率移動移標至下方進行設定與校正

因為無校正片，若有要要請自行準備與DUT電極相同距離之開路短路Pad進行校正

Agilent 4284A• MEAS SETUP - LIST SETUP

可設定欲掃描的參數，比方FREQ，LEVEL，Vm等等

Agilent 4284A• DISPLAY FORMAT - LIST SWEEP

回到顯示畫面，則會自動進行量測，無存檔功能，請自行記錄拍照

注意事項

‧ 儀器皆以停產，原廠不提供維修服務，請愛惜使用

‧ 請勿任意改變接線或搬運量測儀器

‧ 使用完畢，儀器電源、燈源及牆上抽氣開關請務必關閉

‧ 儀器存檔功能已壞無法修理，請自行記錄或拍照

‧ 顯微鏡座請勿移動前後左右轉軸避免皮帶損壞

‧ 變換物鏡時請先抬高顯微鏡以免撞針

‧ 使用前後務必填寫紀錄簿(待實施)

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