d’Emission Optique -...
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Introduction à la Spectroscopie d’Emission Optique
Dunpin HONG
GREMI UMR7344, Université d’Orléans/CNRS
Réseau des Plasmas Froids du CNRS
Atelier Diagnostics Plasma : méthodes de détermination des propriétés électroniques et ioniques
1er au 3 décembre 2014 au laboratoire ICARE, Orléans
Introduction
Un plasma émet inévitablement de la lumière, notamment dans le domaine visible.
Quand la lumière émise est étudiée en fonction de sa répartition spectrale dans le domaine visible étendu à l’UV et au proche infrarouge, il s’agit alors de la Spectroscopie d’Emission Optique (SEO).
[1] Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, p4
2
I. Introduction
Plan
I. Introduction
II. Spectres d’émission
III Applications au diagnostic des plasmas
IV. Conclusion
V Complément
Bibliographie
3
I. Introduction
Spectres d’émission
[1] Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, p8
HI 665nm HI 486nm Continuum
Les raies sont issues des transitions lié-lié
Le continuum est dû aux autres mécanismes, comme la transition libre-lié (recombinaison radiative)
Diagramme des
niveaux d’énergie
[1] Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, p203
4
l0=1/n0
II. Spectres d’émission
Emission lié-lié (émission résonnante)
Etat fondamental
E1 (eV)
Etat excité
E2 (eV)
Etat excité
E3 (eV)
hn0
Emission spontanée
Avec hn0=E2-E1
La probabilité d’émission spontanée est A21
En raison de la dualité de la lumière, pour un photon d’énergie hn0 , on dit
parfois « photon de fréquencen0 , ou photon de longueur d’onde l0=1/n0».
Diagramme des niveaux d’énergie
2212 NA
dt
dN-=
t
tAeNeNtN
--
== 00 22221
II. Spectres d’émission
5
Emission spontanée (atomique)
W
V
Spectromètre
Détecteur multicanaux :
CCD ou ICCD
VhNA
P W=
n
4
0221Puissance lumineuse issue d’une raie isolée
captée par le montage optique :
-
= nn dII )(0
Le spectre d’une raie isolée n’est pas une fonction Dirac. La largeur du profil de la
raie permettrait de remonter à certains paramètres de la source de rayonnement.
)()( 0 nn LII =
-
=1)()( nnn dLquetelL
Paramètres d’un profil :
- la fonction normalisée :
II. Spectres d’émission
[1] Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, p8
6
Le profil :
La surface de la raie (dite intensité) :
- la largeur totale à mi-hauteur (FWHM : Full Width at Half Maximum)
ou la mi-largeur à mi-hauteur ( HWHM : Half Width at Half Maximum)
Elargissement naturel
Emission spontanée
-
=1)( nn dL
HWHM (la mi-largeur à mi-hauteur)
t
eNN-
= 202nt
eIANhI-
== 02
tiw
t
eeFF 02
0
-
=)(
2
1
1
0
- j
2
0
2
2
42
1
11
nn
n
-
=L
2
2
04
1
4
11
-
=
nn
nL
n
44
1 A==
22
0
1
nnn
n
n
-
=L
Application numérique avec A=108 s-1 : MHz8n
n
n
l
l =
Pour l=500 nm, l=6,7x10-6 nm, car
L’élargissement naturel est généralement négligeable !
II. Spectres d’émission
7
Représentation temporelle Représentation fréquentielle
Elargissement par effet Doppler
Emetteur, n0 Observateur
vx
-=
c
v
vc
c x
x
100 nnn
xvNI 2n
vx
vx >0 vx <0 0
n0 n>n0 n<n0
n
2ln2
20
2ln1DeL
D
n
nn
nn
--
=
2ln2
20
2ln1DeL
D
l
ll
ll
--
=
xxD
D
D
D
M
T
m
kT
c
7
2/1
1058.32ln21 -=
=
=
l
l
n
n
Elargissement Stark, …
avec Mx la masse molaire en gramme
Application numérique avec Ar,
T=400K et l=500 nm :
MHz678n
l=5,7x10-4 nm
II. Spectres d’émission
8
Emission libre-lié et libre-libre (Bremsstrahlung, …)
- Recombinaison radiative (libre-lié) : nhaea *
- Bremsstrahlung (freinage, libre-libre) : nheaouaeaoua
Diagramme des
niveaux d’énergie
Ei (eV)
[1] Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, pp206-211
II. Spectres d’émission
9
Etalonnage en longueur d’onde
Spectre d’émission d’un disjoncteur utilisant SF6
10
Si une raie d’1 mW @560 nm donne un signal de 50 alors une raie d’1 mW @455 nm donne un signal de 32
560 nm
50
32
455 nm
II. Spectres d’émission
Lampe Hg
Etalonnage en énergie du système optique
112
5
2
1
12 ---
-
= mSrWm
e
hc
kT
hc
ll
l
Luminance spectrique
d’un corps noir :
Luminance d’un corps gris :
celle d’un corps noir x émissivité
Pour connaître la puissance spectrique
(puissance par unité de longueur d’onde) P(l) correspondant au spectre, il faut connaître :
1. La surface d’émission captée
2. L’angle solide de collection
Osram
[1] Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, p28
11
La courbe d’étalonnage : l
ll
P
IS =
II. Spectres d’émission
Etalonnage relatif en énergie du système optique Réponse spectrale du système optique
Parfois, on se contentera d’une réponse spectrale relative du système optique. Dans
ce cas là, on peut calculer S(l) sans prendre en compte l’angle solide de collection et/ou la surface d’émission captée.
De plus, cette courbe est souvent normalisée à 1 pour une longueur d’onde donnée.
Si la « réponse spectrale » relative de chaque composant optique et celle du
détecteur sont connues, on peut obtenir la réponse spectrale du système en
multipliant toutes ces courbes.
http://www.olympusmicro.com/primer/techniques/confocal/pmtintro.html
12
II. Spectres d’émission
Conditions (Equilibre Thermodynamique Local, …) Homogène dans tout le volume de mesure
Optiquement Mince (auto-absorption faible)
ETL (équilibre thermodynamique local)
Loi de Boltzmann
Loi de Saha, …
- Critère pour l’ETL:
- Cette densité critique peut être divisée par 10 si l’on a
- Critère pour l’ETL partiel :
where A is the mass number (relative atomic weight) of the element in question and l12
the wavelength of the resonance line (in centimeters).
where n is the principal number
of the last level in equilibrium
with the upper ones.
kT
EE
i
j
i
jij
eg
g
N
N-
-
=
kT
E
iii
eTF
g
N
N -
=)(
13
[2] H R GRIEM, Plasma Spectroscopy, 1964, p151-152
[2] H R GRIEM, Plasma Spectroscopy, 1964, p148
II. Spectres d’émission
Composition d’un plasma
III. Applications
Spectre d’émission d’un disjoncteur utilisant SF6
14
nm 510 512 514 516 518 520
0
1000
2000
3000
16
15
14
13
12
11
9
10
8
7
6
5
4
3
2
Intn
sity
(a.u
)
Wavelength (nm)
510 512 514 516 518 520
0
200
400 510 512 514 516 518 520
0
200
400
600
800
Cu II Cu II
Cu I Cu I Cr I
C.Z.
510 512 514 516 518 520
0
500
1000 510 512 514 516 518 520
0
500
1000
1500 510 512 514 516 518 5200
1000
2000
3000 510 512 514 516 518 520
0
3000
6000510 512 514 516 518 520
0
5000
10000
15000 510 512 514 516 518 520
0
7000
14000
21000 510 512 514 516 518 520
0
8000
16000
24000 510 512 514 516 518 520
0
7000
14000
21000 510 512 514 516 518 520
0
5000
10000510 512 514 516 518 520
0
2000
4000 510 512 514 516 518 5200
300
600 510 512 514 516 518 520
0
150
3000
200400600800
100012001400
515-3515 -Esec
###
CrI
Relative intensities of lines from the same element and same ionization stage Conditions: LTE (ETL), optical thin, homogeneous
• Line 1: line intensity I1, wavelength l1, transition upper level population N1,
energy E1, statistic weight g1.
• Line 2: line intensity I2, wavelength l2, transition upper level population N2,
energy E2, statistic weight g2 .
Spectral response calibration, lines choice, uncertainty determination, …
ekT
EE
ul
ul
ul
ul eg
g
S
S
A
A
S
S
N
N
A
A
SP
SP
I
I12
2
1
2
1
1
2
2
1
2
1
1
2
2
1
2
1
22
11
2
1
-
===l
l
l
l
l
l
l
l
l
l
VhNA
P ul W=
n
4
1111
VhNA
P ul W=
n
4
2222
III. Applications
15
Boltzmann Plot (using lines from the same element and same ionization stage)
where F(T) is the partition function, NT is total density of this given atom (ion)
If one plots the left side quantity as function of Ei, the curve should be a straight
line and one can yield T from the slop which should be -1/(KTe).
Line i: line intensity Ii, wavelength li, transition upper level population Ni,
energy Ei, statistic weight gi.
Conditions: LTE (ETL), optical thin, homogeneous
e
i
kT
E
iTi
i
ulii
i
iuliiii e
TF
gVNS
hcAVS
hcNASPI
-
W=W== ll
ll
l44
e
i
kT
E
T
iulii
ii eTF
VNhc
SAg
I -W=
l
l
4
constant for a given plasma
i
eiulii
ii EkT
MSAg
I 1lnln -=
l
l
III. Applications
16
Boltzmann plot (example)
510 512 514 516 518 520 522
0
1000
2000
3000
4000
5000
6000
experiment
simulation
inte
nsity
(a.
u.)
nm
y = -1.23x + 19.60
11
13
15
3 4 5 6 7
eV
ln( l
I/g
A)
2S
2P
2D
2F
4F
4G
4p
4s2
324.7
327.4
328.0
s4p’ s4p’
s4d’ s4d’
324.3 326.8
0
10000
20000
30000
40000
50000
70000cm-1
60000
4d
515.3
510.6
III. Applications
17
1 eV corresponds to 11600 K
Relative line intensities of subsequent ionization stages of the same element
Conditions: LTE (Boltzmann and Saha Law), optical thin, homogeneous and electron density
• Line 1 from ionization stage a: line intensity I1, wavelength l1, transition upper level
population N1, energy E1, statistic weight g1.
• Line 2 from ionization stage a+1: line intensity I2, wavelength l2, transition upper level
population N2, energy E2, statistic weight g2.
Saha law with Ei is the ionization energy of stage a.
e
iIAlIIAl
kT
EEE
e
eIAlIAl
IIAlIIAl
IAl
IIAle
h
kTm
NS
S
gA
gA
I
I--
=
23
2
0
1
1
0
0
1 22
l
l
l
l
l
l
III. Applications
18
Relative line-to-continuum intensities There are recombination continuum, free-free continuum
III. Applications
100 Å
[2] H R GRIEM, Plasma Spectroscopy, 1964, p281
[2] H R GRIEM, Plasma Spectroscopy, 1964, p180
19
20000
110
Doppler profiles
The only well-established technique for the spectroscopic measurement of
kinetic temperatures of atoms and ions is based on the measurement of the
widths and profiles of Doppler-broadened lines.
xxD
D
D
D
M
T
m
kT
c
7
2/1
1058.32ln21 -=
=
=
l
l
n
n
This formula uses HWHM (Half Width at Half Maximum).
It is necessary to be sure that the thermal Doppler effect is really the most
important line-broadening mechanism.
LTE is not necessary !!!
III. Applications
20
Stark Broadening of neutral or ionized lines for Ne measurement Over a wide range of electron densities Ne and temperatures, the FWHM of an atomic
lines (in Å) is approximately given by
and
In case of singly ionized ions, the
factor 0.75r must be replaced by
1.2r.
a is the parameter characterizing
the broadening due to ions. These
equations are reasonably accurate
for
III. Applications
[2] H R GRIEM, Plasma Spectroscopy, 1964, P91 and p455
21
Shift due to Stark effect for neutral or ionized lines
III. Applications
The line shift (in Å):
[2] H R GRIEM, Plasma Spectroscopy, 1964, P91 and p455
5430 5440 5450 5460 5470 54800
500
1000
1500
2000
2500
lambda [Å]
inte
nsi
té [
u.a
.]
1
2
3
4
lll AM FLL *=
Measured profile
22
0
1
lll
l
l
-
=L
Expected Profile
Remark about the true line width (linked to the previous slide):
Deconvolution calculating is often necessary
22
FA: Measured profile of a very narrow line.
Stark Broadening of H for Ne measurement
3448.1141034.3 -= cmNe lSynthesized line profile for H :
• Kepple and Griem
• Vidal, Copper and Smith
H
If optical thin, according to Pittman
and Fleurier (1983), one has
Tube : F=5cm, l=35cm
Gas H2 or D2 ,10 mbar
III. Applications
23
Inglis-Teller limit (for Ne measurement)
nZzNe log5.7log5.1log5.425.29log --=
n: the principal number of the last discernible line
z: ze is the nuclear charge of the next ionization-
stage ion
Z: Ze is the charge of the perturbed particles
With n = 6, z = 1, Z = 1, one yields:
323106.2 -= mNe
III. Applications
24
VhNA
P W=
n
4
0221
With energy calibration, N2 can be determined
Conclusion
Technique relativement facile à mettre en œuvre (et mesure à distance possible)
Technique non intrusive
Résolution temporelle et/ou spatiale (cf. complément)
Détermination de la composition
Détermination de densités
Détermination de températures
Nécessité de données spectroscopiques
Nécessité d’étalonnages
Homogène dans le volume de mesure
25
Notions complémentaires ?
Epaisseur optique et auto-absorption
Etat excité ou non
E1 (eV)
Etat excité
E2 (eV)
Etat excité
E3 (eV)
hn0
Absorption
A B C D
l
lla LN
g
g
c
Ai
i
kki
8
4
=
l
112
5
2
1
12, ---
-
= mSrWm
e
hcTI
kT
hcBB
ll
l
Sous certaines conditions, on a
V. Complément
26
Optical thick line
1
1
2ln
0
0 -
-
l
l
eS
M
0
0,2
0,4
0,6
0,8
1
1,2
499 499,5 500 500,5 501
P(0,1) P(1) P(5) P(10)
y = 0,3024x + 1
1
1,2
1,4
1,6
1,8
2
2,2
2,4
2,6
0 1 2 3 4 5
10 fois
50 fois
100 fois
V. Complément
27
4
2
3
Optical thick F I lines Influence optical thickness: self-absorbing profiles of the lines F I 6856,02 and 6870,22 Å at T=17000K (thesis of F. Gentils)
6856.02 6870.22
nL
d= 1e+013 cm-2
=0.2
nL
d= 8e+013 cm-2
=1.9
nL
d= 2e+014 cm-2
=4.7
6856.02 6870.22
ne
= 1e+017 cm-3
ne = 3e+017 cm
-3
ne = 5e+017 cm
-3
ne = 3 10
17 cm
-3
= 0.9
= 0.3
= 0.2
nLd = 2 10
13 cm
-3
V. Complément
28
Fowler-Milne method
31
Emission coefficient of ArI 696.5 nm as function of radius (Abel’s transformation)
Emission coefficient of Ar I 696.5 nm as function of temperature. Argon at atmospheric pressure.
V. Complément
Mesure résolue en temps Un spectromètre imageur couplé à une caméra CCD
Miroirs Fente d’entrée Réseau
Montage typique (Czerny-Tuner) d’un spectromètre
Plasmas transitoires Mesures résolues en temps CCD intensifiée
1 µs
- 200 V
V. Complément
32
Plusieurs spectres successifs (ex. toutes les 30 µs)
Spectromètre
Imageur
Spectromètre
Imageur
Intensificateur
d’image
Matrice CCD
Non éclairée
Zone stockage
Zone éclairée
Prises de photo
Transferts d’image vers le bas (~ 1µs/ligne)
V. Complément
33
Plusieurs spectres successifs
Optical diagnostics of the arc plasma using fast intensified CCD-spectrograph system.
G. Pavelescu, …, D. Hong, …, in Proc. of the 7th International Conference on Optics, SPIE vol 5581 (2004), PP767-774
-2 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18
C.Z.Gate number
Time (ms)
6000
9000
12000
Tem
pera
ture
(0K
)
-40
-20
0
20
40
Voltage (
V)
-10-505
101520
C.Z.
Curr
ent (k
A)
Arc current (A)
16
510 512 514 516 518 520
0
1000
2000
3000
16
15
14
13
12
11
9
10
8
7
6
5
4
3
2
Intn
sity
(a.u
)
Wavelength (nm)
510 512 514 516 518 520
0
200
400 510 512 514 516 518 520
0
200
400
600
800
Cu II Cu II
Cu I Cu I Cr I
C.Z.
510 512 514 516 518 520
0
500
1000 510 512 514 516 518 520
0
500
1000
1500 510 512 514 516 518 5200
1000
2000
3000 510 512 514 516 518 520
0
3000
6000510 512 514 516 518 520
0
5000
10000
15000 510 512 514 516 518 520
0
7000
14000
21000 510 512 514 516 518 520
0
8000
16000
24000 510 512 514 516 518 520
0
7000
14000
21000 510 512 514 516 518 520
0
5000
10000510 512 514 516 518 520
0
2000
4000 510 512 514 516 518 5200
300
600 510 512 514 516 518 520
0
150
3000
200400600800
100012001400
515-3515 -Esec
###
CrI
V. Complément
34
Evolution temporelle d’une raie
4 sources
lumineuses
4 spectres
Spectromètre
Imageur
35
Thèse de Jörg Hermann
Plusieurs spectres simultanés de plusieurs sources
V. Complément
Merci pour votre attention !!!
Bibliographie
1) Takashi Fujimoto, Plasma Spectroscopy, Clarendon Press, Oxford, 2004
2) H.R. Griem, Plasma Spectroscopy, McGraw-Hill Book Company, New York, San Francisco, Toronto, London, 1964
3) Gérard Henrion, Spectroscopie d’émission optique : de la théorie à la pratique, journées du Réseau Plasmas Froids, 9-12, octobre 2012 http://plasmasfroids.cnrs.fr/spip.php?article153
4) H.R. Griem, Spectral lines broadening by plasmas, Academic Press, New-York, Londres, 1974
5) J, Michael Hollas, Spectroscopie, traduit par Daniel Simon, Dunod, Paris, 1998
36