Caroline BOISARD Responsable de projet CNRS 20 mars 2014 24/03/2014 The French micro and...
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Caroline BOISARDResponsable de projet
CNRS20 mars 2014
24/03/2014 The French micro and nanofabrication network for innovation
RENATECH network
Sommaire24/03/2014
Le programme RTB• Histoire et missions• Ecosystème ‘’Nano’’
RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés
L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs
Accès au réseau
• Site web• Contact
Actions Renatech
1 nm = 10-6 mm
Nanomètre
Même ratio entre la terre et une orange qu’entre une orange et un nano objet
24/03/2014
•Qu’est ce qu’une salle blanche ?
Définition: Salle blanche
Une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique. Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis
définition selon la norme ISO 14644-1
•Comment ? L’air entrant est filtré
24/03/2014
Une salle blanche24/03/2014
Au dessus 24/03/2014
Sommaire24/03/2014
Le programme RTB• Histoire et missions• Ecosystème ‘’Nano’’
RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés
L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs
Accès au réseau
• Site web• Contact
Actions Renatech
Historique : le programme RTB
2003: Lancement du programme national RTB “Recherche en technologies de Base” ”Doter la France d’une infrastructure capable de répondre de façon
performante et au meilleur coût possible aux besoins de recherche de l’innovation en micro et nanotechnologies” porté par le CNRS et le CEA
CNRS: 6 centrales réparties sur toute la France GIS RENATECH Infracstructure académiques de taille moyenne (900 1500 m² de salle
blanches)
CEA: 1 centre (Leti) ) à Grenoble Très grande infrastructure (wafer de 200 à 300 mm) dédiée à l’innovation et
au transfert vers l’industrie
24/03/2014
Promouvoir une recherche au meilleur niveau mondial dans le domaine des nanosciences
Rationaliser le parc technologique en France
Fournir un service de fabrication pour les utilisateurs scientifiques qu’ils soient académiques ou industriels
Elaborer une stratégie nationale d’achat d’équipements lourds
Promouvoir les nanos sciences en France
Missions 24/03/2014
Evaluation annuelle auprès d’un panel international
OMNT – Observatoire de la micro et nanotechnologie Veille scientifique Analyse de l’état de l’art
Cnano (Structuration nationale & régionale)
Animation scientifique Dissémination de l’information Formation
7000 chercheurs+ 250 laboratoires
Centrales de proximité 9 plateformes 3.000 m² de salle blanche
Program RTB 7 centrales ( CNRS-RENATECH ; CEA LETI) 15.000 m² de salle blanche (7.000 CNRS-8.000 CEA) pour la micro&nano fabrication et la nano charactérisation
Ouvert aux académiques et industriels, nationaux et inernationaux
L’ « écosystème » de la recherche en micro&nano24/03/2014
Chaine de développement
Disruptive Concepts
NewProducts
Proprietary
Open
Academia
IP Integration Lab
Volume Manufacturing
Industrial R&D
Leti
Technology Transfer
Product Development
RENATECH
24/03/2014
Sommaire24/03/2014
Le programme RTB• Histoire et missions• Ecosystème ‘’Nano’’
RENATECH•Localisations•Organisation•Budget et coûts•Domaines de recherche et équipements•Projets exogènes et chiffres clés
L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs
Accès au réseau
• Site web• Contact
Actions Renatech
RENATECH: infrastructure pour la micro- nano fabrication et charactérisation
140ingénieur & techniciens
7000m² de salles
blanches
6Plateformes
1000utilisateurs
par an
• Porté par le CNRS :Laurent Nicolas (DAS)Isabelle SAGNES (CM)Caroline BOISARD (CP)
• Piloté par :• INSIS/INP• Universités tutelles des 6 laboratoires
• Président du GIS : Michel de Labachelerie
GIS RENATECH24/03/2014
20042005200620072008200920102011201220132014 -
2,000
4,000
6,000
8,000
10,000
12,000 Budget RENATECH
Am
ou
nt,
K€
2014
BUDGET TGIR 2014 : 3 717 K€
Coût des INFRASTRUCTURES en 2014 (sans projet scientifiue)
6,3 M€ /an<= > 906€/m²
Coût d’exploitation (projets scientifiques)
2 M€/an
Coût de personnel (~ 140 IR & Techniciens)
8,4 M€/an
INVESTISSEMENT
10% du parc à renouveler chaque année soit 12 M€/an
Budget et couts24/03/2014
CNRS & Universtités= 59% (coûts fixes )
• 3,282 M€ CNRS• 0,435 M€ Universités
Utilisateurs RENATECH= 41%• 2,3 M€
Valeur des équipements : 126 M€
Domaines des recherche
Nanoelectronics / Spintronics Photonics MEMS / NEMS /
MOEMS / AcousticsMicro-Nano for Biology
Characterisation / Instrumentation
CMOS scaling
Beyond CMOS
High performance micro-light sources
Integration of SAW & BAW components on silicon
Free labelling and high sensitivity detection
Characterization of integrated nanomaterials
Low power reliable electronics
On-chip photonic systems
Ultra-integrated RF acoustic devices using phononics crystals
Full integration of biological or chemical analysis protocol in a micro-system
Real time, in-situ analysis
Logic & analog circuits
Devices for mechanical-electrical energy generation & conversion
Multiscale approaches for nano materials, nano devices and micro/nano systemsNanomagnetism
Multifunction integrated sensors
24/03/2014
Equipements principaux
Lithography Deposition Material/Growth EtchingCharacterization / Metrology
Integration
Photolitography (UV & deep-UV)
Evaporation MBEChemical etching
Optical microscopy
Packaging
Electron-beam lithography
Sputtering CVDReactive Ion etching
Scanning probe microscopy
Wire bonding
Laser CVDChemical synthesis
Laser SEM & TEM Dicing
ImprintElectro-deposition
ALD FIB ProfilometryWafer bonding
Inkjet, roll-to-roll
Ion implantationElectrical, HF & optical characterizations
Flip chip
Thermal/Chemical processing
Diffraction
24/03/2014
2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012
12% 13% 15% 17% 21% 24%31% 34% 40%
5% 5%
10%12,5%
13% 10%
11%
Renatech opening rate for academic (blue) and industrial (green) external projects
2004 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012
122
246 242289
365
407427
444
Number of exogenous pro-jects
2007 2008 2009 2010 2011 2012
67% 63%
71%
59%56%
61%
33%37%
29%
41% 44%39%
Technological development
With
Without
Chiffes clés sur les projets exogènes24/03/2014
Chiffres clés
Nos partenaires
1.6M€grand projet
8 ans
200€petit projet
1/2 journée
Domaines d’activité
Biotechnology (3%)
Chemistry (4%)
Earth Science & Astronomy (4%)
Physics (19%)
Engineering Science (40%)
Other (25%)
Quelques réalisationHigh performance infrared detectors
for astronomy
Optical nano-antenna made by etching for the company Lovalite
Autonomous pressure and temperature sensor made with
the company Schrader
High fidelity micro speaker made with ST-Microelectronics
Greater data conservation with saphir micro-eching for the company ARNANO
24/03/2014
10 moisDurée
moyenne
Contents24/03/2014
Le programme RTB• Histoire et missions• ‘’Nano’’ ecosystème
RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés
L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs
Accès au réseau
• Site web• Contact
Actions Renatech
Les services
Accès à la fabrication technologique Service de réalisation
de micro et nanocomposants et systèmes
Support pour la R&DConseils
technologiquesSolutions techniquesAccès encadré à des
équipements de pointe
© U
sine
No
uve
lle D
avid
C
resb
ron
Formation Les clients sont formés
pour êtres des utilisateurs autonomes
Recherche de financement
Vision de l’état de l’art
Identification de partenaires
…
Services sur mesure
24/03/2014
Process24/03/2014
Résultats positifs
Enquête de satisfaction
98%des
objectifs sont
atteints
89%des devis
sont respectés
89%du planning
est respecté
>35 brevets par
an
82%des
utilisateurs sont
satisfaits de la réactivité
>500publications
par an
Start-up (10%)
PME (14%)
Grandes entreprises (76%)
Utilisateurs = académiques et industriels
450 utilisateurs en 2012
Industriels (16%)
Académiques (84%)
24/03/2014
Contents24/03/2014
Le programme RTB• Histoire et missions• ‘’Nano’’ ecosystème
RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés
L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs
Accès au réseau
• Site web• Contact
Actions Renatech
Un seul point d’accès
http://www.renatech.org
Facturation après la réalisation Rapport (1 page, publications,
brevets...), & enquête de satisfaction
Courte description des besoins
Etude de faisabilité gratuite
Planning de travail et devis = Cout d’accès horaire x le facteur de ressource
24/03/2014
Un accès en quelques clics 24/03/2014
Points de contacts des plateformes
General information
24/03/2014
Contents24/03/2014
Le programme RTB• Histoire et missions• ‘’Nano’’ ecosystème
RENATECH• Localisations• Organisation• Budget et coûts• Domaines de recherche et équipements• Projets exogènes et chiffres clés
L’offre de RENATECH• Services• Approche spécifique• Utilisateurs
Accès au réseau
• Site web• Contact
Actions Renatech
Action 2013-201424/03/2014
Un seul point d’entrée-> Création du portail sur lequel les utilisateurs s’inscrivent
http://www.renatech.org
Promotion du réseau auprès des PME ->Collaboration avec la CCI de l’Essonne et le réseau EEN -> Réalisation d’une brochure à destination des industriels
Collaboration avec Sample of science
Harmonisation le calcul du cout d’accès aux plateformes
Campagne de sensibilisation
« Please mention in the acknowledgment section: »
‘’This work was partly supported by the French RENATECH network’’
Et néanmoins un vrais progrès (WEB OF SCIENCE)
Citations indexées Publications indexées
24/03/2014Plus de 500 publications par an
... Mais seulement 74 sont indexées.
Thank you for your attention
Caroline BOISARDResponsable de projet
01 44 96 46 [email protected]
http://www.renatech.org24/03/2014