Plan d’accès Plateforme Technologique Amont...
2
L a PTA offre une grande souplesse au niveau de la nature des matériaux et des substrats, ainsi que de leur taille. Elle propose également un fonctionnement souple et réactif aux chercheurs, et s’ouvre aux propositions inédites. U n parc de machines d’élaboration performantes est proposé aux chercheurs en nanosciences et nanotechnologies. Il permettra de réaliser des assemblages technologiques complexes multimatériaux afin de structurer la matière dans une gamme de résolution nanométrique. 430 m² de salle blanche Une équipe de 20 permanents techniciens ingénieurs chercheurs Chiffres clés Un parc de plus de 30 machines MINATEC CEA 10.05 L a Plate-forme de Technologie Amont (PTA) du site Minatec est créé conjointement par le CEA et la FMNT (Fédération des Micro et Nanotechnologies, CNRS-INPG-UJF). Elle bénéficie, au niveau national, du soutien du programme de Recherche Technologique de Base (RTB) et au niveau local du soutien de la fondation Nanosciences. MINATEC INPG BCAi Contacts Thibault HACCART 04 38 78 45 04 [email protected] François LEFLOCH 04 38 78 48 22 [email protected] David PEYRADE 04 38 78 35 45 [email protected] Philippe SABON 04 38 78 20 05 [email protected] site web: www.pta-grenoble.fr Plan d’accès Plateforme Grenoble FRANCE Amont Technologique Une salle blanche pour la recherche fondamentale L a PTA s’inscrit au coeur du réseau National des grandes centrales de technologie. A Grenoble, elle constitue un complément aux plate-formes de technologie Silicium 200 et 300 mm du CEA-LETI et à la plate-forme NanoFAb de l’Institut Néel.
Transcript of Plan d’accès Plateforme Technologique Amont...
La PTA offre une grande souplesse au niveau de la nature des matériaux et des substrats,
ainsi que de leur taille. Elle propose également un fonctionnement souple et réactif aux chercheurs, et s’ouvre aux propositions inédites.
Un parc de machines d’élaboration performantes est proposé aux chercheurs en nanosciences
et nanotechnologies. Il permettra de réaliser des assemblages technologiques complexes multimatériaux afin de structurer la matière dans une gamme de résolution nanométrique.
430 m² de salle blanche
Une équipe de 20 permanentstechniciens ingénieurs chercheurs
Chiffres clés
Un parc de plus de 30 machines
MINATEC CEA 10.05
La Plate-forme de Technologie Amont (PTA) du site Minatec est créé conjointement par le CEA et la
FMNT (Fédération des Micro et Nanotechnologies, CNRS-INPG-UJF). Elle bénéficie, au niveau national, du soutien du programme de Recherche Technologique de Base (RTB) et au niveau local du soutien de la fondation Nanosciences.
MINATEC INPG BCAi
Contacts
Thibault HACCART 04 38 78 45 04 [email protected]
François LEFLOCH 04 38 78 48 22 [email protected]
David PEYRADE 04 38 78 35 45 [email protected]
Philippe SABON 04 38 78 20 05 [email protected]
site web: www.pta-grenoble.fr
Plan d’accèsPlateforme
GrenobleF R A N C E
AmontTechnologique
U n e s a l l e b l a n c h e p o u r la recherche fondamentale
La PTA s’inscrit au coeur du réseau National des grandes centrales de technologie. A Grenoble,
elle constitue un complément aux plate-formes de technologie Silicium 200 et 300 mm du CEA-LETI et à la plate-forme NanoFAb de l’Institut Néel.
POLE LITHOGRAPHIE
POLE DEPOT/GRAVURE POLE METROLOGIE/OBSERVATION
POLE MICRO/NANO-SYSTEMES
■ Litho. Electronique, masqueur 100kV
■Litho électronique, MEB 30kV
■ Insolation optique contact/proximité, UV et DUV
■ Filière enduction/recuit/développement, manuelle et automatique
■ Scrubber litho
■ Evaporateur à canon (8 creusets)
■ 4 bâtis de pulvérisation
(diélectrique, métal, magnétique)
■ Gravure plasma ICP fluorée et chlorée
■ Gravure par faisceau d’ions
(avec détection SIMS)
■ Délaqueur résine humide et plasma
■ Traitements humides usuels, nettoyage
et gravure
■ MEB FEG
■ Microscope optique et confocal laser
■ Ellipsomètre spectroscopique
■ Profilomètre mécanique
■ Gravure profonde plasma ICP fluorée (procédé Bosch)
■ Séchage super critique
■ Gravure HF vapeur
■ Polissage mécano-chimique
■ Insolateur UV avec alignement double face
■ Filière alignement/scellement
Un équipement de dernière génération... ...de la conception à l’application
Les thématiques de rechercheNanoélectronique quantique
La PTA fournit à la communauté
scientifique des nanosciences et des
nanotechnologies, les outils
d’élaboration et de mise
en forme d’échantillons à
l’échelle nanométrique.
Nanophotonique
Nanomagnétisme et électronique de spin
Electronique moléculaire
Nanomatériaux
Le vivant aux limites de la nanoélectronique
Nanosystèmes mécaniques
Accueil sur la Plateforme
La PTA fonctionne par projets soumis à la cellule d’exploitation.
Un comité scientifique vous conseille.
Un comité technique vous assiste et vous forme.
Vous travaillez en autonomie
sur les équipements.
