SEMI緊急遮斷用（EMO）開關SEMI EMERGENCY OFF SWITCHES

759

一覽

緊急停止用按鈕開關

ø16XA一體型

ø16XA

ø16H6

ø22XW

ø22YW

ø22HW

ø30XN

ø30HN

EMO SEMI

保護罩

停止用開關

一覽

促動開關

HE1B

HE2B

HE3B

HE5B

HE2G

HE1G-L

HE1G

促動器

一覽 安全繼電器模組

HR1S-AC

HR1S-AF

HR1S-AK

一覽安全控制器FS1A

Flush Silhouette

開關／指示燈

（圓孔）

電氣控制箱

開關／指示燈

（方孔）

表面安裝指示燈

LUMIFALED照明裝置

組合式

數字顯示器

安全元件 1

安全元件 2

端子台

繼電器／計時器／

插座

回路保護器

電源供應器

PLC/SmartRelay

人機介面

感測器

防爆電控設備

各種資料

XA/XW/HW系列 緊急遮斷用（EMO）開關 與開關保護罩配套使用時符合 SEMI S2標準。• 可與 FB系列樹脂製控制盒配套使用。• 直接開路動作結構。• （符合 IEC60947-5-5； 5-2項、IEC60947-5-1附件 K）安全鎖定結構（IEC60947-5-5； 6-2項）• 保護構造： IP65（IEC60529）•

型號 ❏

ø16mm XA系列 EMO按鈕開關 焊接端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型（非照光型）•

名稱 ·外觀主接點

（NC接點）輔助接點（NO接點）

型號（訂購型號） 按鈕顏色 銷售單位

ø40mm大蘑菇頭形 1NC － XA1E-BV401RH-EMO

僅鮮紅色

（白色文字）

1個

2NC － XA1E-BV402RH-EMO 1個

3NC － XA1E-BV403RH-EMO 1個

4NC － XA1E-BV404RH-EMO 1個

1NC 1NO XA1E-BV411RH-EMO 1個

2NC 1NO XA1E-BV412RH-EMO 1個

3NC 1NO XA1E-BV413RH-EMO 1個

ø22mm XW系列 EMO按鈕開關 螺絲端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型（非照光型）•

名稱 ·外觀主接點

（NC接點）輔助接點

（NO接點）型號（訂購型號）

按鈕顏色 銷售單位IP20型 觸電防止蓋型

ø40mm大蘑菇頭形 1NC － XW1E-BV401MFRH-EMO XW1E-BV401MRH-EMO

僅鮮紅色

（白色文字）

1個

2NC － XW1E-BV402MFRH-EMO XW1E-BV402MRH-EMO 1個

3NC － XW1E-BV403MFRH-EMO XW1E-BV403MRH-EMO 1個

4NC － XW1E-BV404MFRH-EMO XW1E-BV404MRH-EMO 1個

1NC 1NO XW1E-BV411MFRH-EMO XW1E-BV411MRH-EMO 1個

2NC 1NO XW1E-BV412MFRH-EMO XW1E-BV412MRH-EMO 1個

3NC 1NO XW1E-BV413MFRH-EMO XW1E-BV413MRH-EMO 1個

2NC 2NO XW1E-BV422MFRH-EMO XW1E-BV422MRH-EMO 1個

ø22mm HW系列 EMO按鈕開關 按鎖定旋轉復歸型•

品名 ·外觀主接點

（NC接點）輔助接點（NO接點）

型號（訂購型號） 按鈕顏色 銷售單位

ø40mm EMO按鈕開關HW1B-V4∗∗R-EMO

1NC － HW1B-V401R-EMO

僅紅色（白色文字）

1個

1NO 1NC HW1B-V411R-EMO 1個

2NC － HW1B-V402R-EMO 1個

2NO 2NC HW1B-V422R-EMO 1個

TP-K-713-766.indb 759TP-K-713-766.indb 759 2010.6.29 9:44:36 AM2010.6.29 9:44:36 AM黑色黑色

760

SEMI緊急遮斷用（EMO）開關

外形尺寸圖（mm） ❏

ø16mm XA系列 EMO按鈕開關•

安裝孔加工圖

ø29.

8

21

ø40

+0.

2 0

+0.2 0

17.9

1.7+0.2 0

ø16.2

30.4

鎖緊環橡膠墊圈端子蓋

19.8

8.7

2.1

27.2

25.830.4 20.6

焊接端子型

面板厚度 0.5∼ 3.7

XA9Z-VL2

ø22mm XW系列 EMO按鈕開關•

面板厚度0.8∼6

安裝孔加工圖

XW9Z-VL2M端子蓋 鎖緊環

橡膠墊圈M3螺絲端子20.118.5

37

48.747.2

0.5

ø40

+0.4 0

ø22.3

R0.8以下

24.1

3.2

32.2

21+0.2 0

+0.

4 0

ø22mm HW系列 EMO按鈕開關•

1349.4（1或2接點）

41.4

69.4（4接點） 29.432

20

鎖緊環

26.5

25

銷鎖桿

ø40

LOCK銷鎖桿安全鎖

TP-K-713-766.indb 760TP-K-713-766.indb 760 2010.6.29 9:44:39 AM2010.6.29 9:44:39 AM黑色黑色

761

SEMI緊急遮斷用（EMO）開關

Flush Silhouette

開關／指示燈

（圓孔）

電氣控制箱

開關／指示燈

（方孔）

表面安裝指示燈

LUMIFALED照明裝置

組合式

數字顯示器

安全元件 1

安全元件 2

端子台

繼電器／計時器／

插座

回路保護器

電源供應器

PLC/SmartRelay

人機介面

感測器

防爆電控設備

各種資料

一覽

緊急停止用按鈕開關

ø16XA一體型

ø16XA

ø16H6

ø22XW

ø22YW

ø22HW

ø30XN

ø30HN

EMO SEMI

保護罩

停止用開關

一覽

促動開關

HE1B

HE2B

HE3B

HE5B

HE2G

HE1G-L

HE1G

促動器

一覽 安全繼電器模組

HR1S-AC

HR1S-AF

HR1S-AK

一覽安全控制器FS1A

以下的開關保護罩和緊急遮斷用開關組合取得 TÜV Rheinland的認證

取得 SEMI S2認證的組合 ❏

開關保護罩型號 對應機型 型號以及外觀照片的對比

XA9Z-KG1 XA1E-BV4∗∗∗∗-EMO（ ）、XA1E-BV3（ ）、XA1E-LV3（ ）、XA1E-BV4（ ）、XA1E-LV4（ ）

HW9Z-KG3XW1E-BV4∗∗∗∗-EMO（ ）、XW1E-BV4（ ）、XW1E-LV4（ ）、XW1E-TV4（ ）、HW1B-V3（ ）、HW1B-V4（ ）、HW1B-X4（ ）、HW1B-Y2（ ）

HW9Z-KG4XW1E-BV4∗∗∗∗-EMO（ ）、XW1E-BV4（ ）、XW1E-LV4（ ）、XW1E-TV4（ ）、XW1E-BV5（ ）HW1B-V3（ ）、HW1B-V4（ ）、HW1E（ ）、HW1B-X4（ ）、HW1B-Y2（ ）

• ∼ 請參閱以下照片。• XA9Z-KG1型 • HW9Z-KG3型 • HW9Z-KG4型

注意•

國際工業標準，如歐盟指令 IEC60204-1要求緊急停止用按鈕開關必須方便操作，且禁止使用開關保護罩。上述開關保護罩只能用於半導體加工設備上的緊急停止用按鈕開關。請切勿在工作機械及食品機械等機械設備的緊急停止用按鈕開關上使用。

與半導體業界安全標準 SEMI的關連 ❏

所謂 SEMI標準是指半導體製造裝置、平板顯示螢幕裝置以及材料廠商構成的業界團體的業界規範。在半導體業界實際等於國際標準的效力。SEMI標準（S2 0706） 12.1項有以下記述：“裝置中應設置「緊急遮斷回路」（EMO回路：Emergency Off回路）。EMO執行元件（按鈕）動作時，為了避免對操作人員以及設備產生新的危險應將裝置移至安全狀態。”這是因為在上述作業現場使用多種溶劑以及藥劑等，其中含有危險物質或有害物質等，若停止了處理用動力等可能引起二次危險。為此，SEMI標準規定，為遮斷包括動力的能源供給，除設置通常的緊急停止用按鈕開關以外，必須設置能夠維持其他相關裝置（烟探知機、泄漏氣體／水探知機，壓力測定裝置等）運轉的緊急遮斷開關。為防止誤操作緊急遮斷開關，需設置開關保護罩，要求開關具備直接開路動作，操作按鈕為紅色，且背景顏色為黃色，操作部表面必需標誌 EMO。

SEMI S2對應緊急遮斷用（EMO）開關安裝高度 ❏

緊急遮斷用 EMO開關安裝到半導體製造裝置上時，請將其安裝在 838mm∼ 1638mm的高度範圍之內。（SEMI S8-0705）• SEMI規定 EMO開關必須安裝在距離操作人員 3米以內。（SEMI S2-0706 12.5.2）•

最高安裝高度1638mm

最低安裝高度838mm

（EMO） （EMO）（人）3米以內 3米以內

TP-K-713-766.indb 761TP-K-713-766.indb 761 2010.6.29 9:44:39 AM2010.6.29 9:44:39 AM黑色黑色

762

SEMI緊急遮斷用（EMO）開關保護罩

SEMI S2 對應開關／開關保護罩

名稱 ·外觀 型號 對應開關 外形尺寸圖（mm） 備註

ø16mm緊急遮斷用開關保護罩

XA9Z-KG1

XA1E-BV4**RH-EMOXAIEHA1EHA1B-V

ø57

36

23.119.1

ø16

42

ø51

• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 與 IDEC緊急停止用按鈕開關配套使用時，取得 TÜV認證。

• 顏色：黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10（近似值）

• 材質：聚醯胺樹脂（PA6）• 保護構造：IP65

ø22mm緊急遮斷用開關保護罩

HW9Z-KG3

XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V（HW1B-V5除外）HW1B-XHW1B-Y

3525

52 ø74

42

ø22

ø66

• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 與 IDEC緊急停止用按鈕開關配套使用時，取得 TÜV認證。

• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。• 顏色：黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10（近似值）• 材質：聚醯胺樹脂（PA6）• 保護構造：IP65

ø22mm緊急遮斷用開關保護罩

HW9Z-KG4*

XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V（HW1B-V5除外）HW1B-XHW1B-Y

35

67

25

ø90

50

ø22

ø76

• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 符合 SEMATECH Application Guide for SEMI

S2-93 12.4項。• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。• 顏色：黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10（近似值）

W：白色（孟賽爾色標 N9.5）• 材質：聚醯胺樹脂（PA6）• 保護構造：IP65

ø22mm緊急遮斷用開關保護罩

HW9Z-KG1

XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V（HW1B-V5除外）HW1B-XHW1B-Y

32

22

38

ø80

ø66.

8

6447

ø22

• 符合 SEMI S20703.12.5-1項• HW9Z-KG1,為 ø29mm蘑菇頭形及 ø40mm大蘑菇頭形專用。不能用於 ø60mm特大蘑菇頭形。

• 顏色：黃色 孟賽爾色標 2.5Y8/10（近似值）• 材質：聚醯胺樹脂（PA6）• 保護構造：IP65

ø22mm緊急遮斷用開關保護罩

HW9Z-KG2

XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V（HW1B-V5除外）HW1B-XHW1B-Y

ø22.2

36.5

ø76.

1

ø90

• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 符合 SEMATECH Application Guide for SEMI

S2-93 12.4項。• HW9Z-KG2為 ø29mm蘑菇頭形及 ø40mm大蘑菇頭形專用。不能用於ø60mm特大蘑菇頭形。

• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。*：顏色記號無：黃色

孟賽爾色標 2.5Y8/10（近似值）• 材質：聚醯胺樹脂（PA6）• 保護構造：IP65

ø22mm緊急遮斷用開關保護罩

HW9Z-KG5*

XW1E-BV4**RH-EMOHW1B-V4**R-EMOXW1EHW1EHW1B-V（HW1B-V5除外）HW1B-XHW1B-Y

75

ø22

76

27

ø90

3340

34.436.2

• 符合 SEMI S2070312.5-1項。• 符合 SEMATECH Application Guide for SEMI

S2-93 12.4項。• 對應開關與保護罩的高度差為 3mm以內。• 內側可安裝銘板*：顏色記號無：黃色

孟賽爾色標 2.5Y8/10（近似值）W：白色 （孟賽爾色標 N9.5）

• 材質：聚醯胺樹脂（PA6）• 保護構造：IP65

12/06/2014

763

SEMI緊急遮斷用（EMO）開關保護罩

Flush Silhouette

開關／指示燈

（圓孔）

電氣控制箱

開關／指示燈

（方孔）

表面安裝指示燈

LUMIFALED照明裝置

組合式

數字顯示器

安全元件 1

安全元件 2

端子台

繼電器／計時器／

插座

回路保護器

電源供應器

PLC/SmartRelay

人機介面

感測器

防爆電控設備

各種資料

一覽

緊急停止用按鈕開關

ø16XA一體型

ø16XA

ø16H6

ø22XW

ø22YW

ø22HW

ø30XN

ø30HN

EMO SEMI

保護罩

停止用開關

一覽

促動開關

HE1B

HE2B

HE3B

HE5B

HE2G

HE1G-L

HE1G

促動器

一覽 安全繼電器模組

HR1S-AC

HR1S-AF

HR1S-AK

一覽安全控制器FS1A

❏安裝孔加工圖（mm）• ø16mm

∗1.7 孔為防轉用。不使用防轉環時不需要。

A部

17.9

+0.2 0

ø16.2

+0.20∗1.7

+0.

20

+0.20

無需防轉環，或使用在無防轉孔的面板時，請用電工鉗折斷緊急遮斷用開關保護罩的 A部後再使用。

❏安裝• ø16mm

鎖緊環

TOP標誌

TOP標誌

操作部

面板厚度：1∼22mm

請使用專用的鎖緊環扳手（MT-001）鎖緊鎖緊環，推薦扭矩為0.88N·m。

❏EMO標籤訂購型號：HW9Z-EMO-NPP顏色：黃底紅字標籤

50mm

20m

m EMO

• ø22mm

A部

∗ 3.2 孔為防轉用。不使用防轉環時不需要。+0.20

24.1

+0.2 03.2∗

+0.4 0

ø22.3

R0.8以下

+0.

4 0

TOP標誌

操作部

面板厚度：1.2∼4mm

TOP標誌

鎖緊環

請使用專用的鎖緊環扳手（MW9Z-T1）鎖緊鎖緊環，推薦扭矩為2.0N·m。

• ø22mm

❏銘板（ø22緊急停止用按鈕開關用銘板）名稱 文字符號 型號（訂購型號） 銷售單位 備註

ø40mm大蘑菇頭形用銘板 EMERGENCY OFF HWAV-74-Y 1個

• 背景：黃色• 文字：黑色• 適用面板厚度：0.8∼ 4.5mm• 材質：聚醯胺

φ22

1.01.5

φ60

EM

ERGENCY

O F F

12/06/2014

764

SEMI局部／部分停止用開關

符合 SEMI S26-0308的局部／部分停止用開關簡介

根據 2008年 3月所發行的「SEMI S26-0308 Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System﹝FPD製造系統（裝置）的環境、健康、安全指導手冊〕」，在限定的場所及僅限定某部分停止的開關（部分停止），無法使用傳統的紅色按鈕與黃色背景的組合。為此，IDEC研發了需要部分停止的機械以及裝置用黃色按鈕與白色背景的銘板及保護罩，供客戶選擇。

停止用開關（黃色按鈕）ø22mm XW系列停止用開關 螺絲端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型•

名稱 ·外觀主接點

（NC接點）輔助接點（NO接點）

型號（訂購型號）銷售單位

IP20型 觸電防止蓋型

ø40大蘑菇頭形 1NC ー XW1E-BV401MFY XW1E-BV401MY 1個2NC ー XW1E-BV402MFY XW1E-BV402MY 1個3NC ー XW1E-BV403MFY XW1E-BV403MY 1個4NC ー XW1E-BV404MFY XW1E-BV404MY 1個1NC 1NO XW1E-BV411MFY XW1E-BV411MY 1個2NC 1NO XW1E-BV412MFY XW1E-BV412MY 1個3NC 1NO XW1E-BV413MFY XW1E-BV413MY 1個2NC 2NO XW1E-BV422MFY XW1E-BV422MY 1個

按鎖定拉出或旋轉復歸型，按下按鈕後呈鎖定狀態，拉出按鈕或順時針旋轉復歸。•

螺絲端子型具備 IP20型與觸電防止蓋型，請指定各自的訂購型號訂購。•

IP20僅能使用單線。•

ø22mm HW系列停止用開關•

名稱 ·外觀 接點結構型號（訂購型號）

銷售單位ø29mm蘑菇頭形 ø40mm大蘑菇頭形 ø60mm特大蘑菇頭形

按鎖定旋轉復歸型

照片為 ø29 mm蘑菇頭形

1NC HW1B-V301Y HW1B-V401Y HW1B-V501Y 1個

1NO-1NC HW1B-V311Y HW1B-V411Y HW1B-V511Y 1個

2NC HW1B-V302Y HW1B-V402Y HW1B-V502Y 1個

2NO-2NC HW1B-V322Y HW1B-V422Y HW1B-V522Y 1個

推拉型ø40mm大蘑菇頭形/2位置1NC ー HW1B-Y201Y ー 1個

1NO-1NC ー HW1B-Y211Y ー 1個

2NC ー HW1B-Y202Y ー 1個

按鎖定旋轉復歸型 ,按下按鈕後呈鎖定狀態，順時針旋轉復歸。•

推拉型，按下或拉出按鈕時，接點動作的 2位置開關，在各位置保持。•

ø16mm XA系列停止用開關 按鎖定拉出或旋轉復歸型（組合型）•

名稱 ·外觀主接點

（NC接點）輔助接點（NO接點）

型號（訂購型號）銷售單位

焊接端子型 PCB用端子型ø29mm蘑菇頭形 1NC ー XA1E-BV301Y XA1E-BV301VY 1個

2NC ー XA1E-BV302Y XA1E-BV302VY 1個3NC ー XA1E-BV303Y XA1E-BV303VY 1個4NC ー XA1E-BV304Y XA1E-BV304VY 1個1NC 1NO XA1E-BV311Y XA1E-BV311VY 1個2NC 1NO XA1E-BV312Y XA1E-BV312VY 1個3NC 1NO XA1E-BV313Y XA1E-BV313VY 1個

ø40mm大蘑菇頭形 1NC ー XA1E-BV401Y XA1E-BV401VY 1個2NC ー XA1E-BV402Y XA1E-BV402VY 1個3NC ー XA1E-BV403Y XA1E-BV403VY 1個4NC ー XA1E-BV404Y XA1E-BV404VY 1個1NC 1NO XA1E-BV411Y XA1E-BV411VY 1個2NC 1NO XA1E-BV412Y XA1E-BV412VY 1個3NC 1NO XA1E-BV413Y XA1E-BV413VY 1個

按鎖定拉出或旋轉復歸型，按下按鈕後呈鎖定狀態，拉出按鈕或順時針旋轉復歸。•

端子蓋（XA9Z-VL2）另售。•

TP-K-713-766.indb 764TP-K-713-766.indb 764 2010.6.29 9:44:46 AM2010.6.29 9:44:46 AM黑色黑色

765

SEMI局部／部分停止用開關

Flush Silhouette

開關／指示燈

（圓孔）

電氣控制箱

開關／指示燈

（方孔）

表面安裝指示燈

LUMIFALED照明裝置

組合式

數字顯示器

安全元件 1

安全元件 2

端子台

繼電器／計時器／

插座

回路保護器

電源供應器

PLC/SmartRelay

人機介面

感測器

防爆電控設備

各種資料

一覽

緊急停止用按鈕開關

ø16XA一體型

ø16XA

ø16H6

ø22XW

ø22YW

ø22HW

ø30XN

ø30HN

EMO SEMI

保護罩

停止用開關

一覽

促動開關

HE1B

HE2B

HE3B

HE5B

HE2G

HE1G-L

HE1G

促動器

一覽 安全繼電器模組

HR1S-AC

HR1S-AF

HR1S-AK

一覽安全控制器FS1A

• ø16mm XA系列停止用開關 焊接端子型按鎖定拉出或旋轉復歸型（一體型）

名稱 操作部主接點

（NC接點）型號（訂購型號）

銷售單位IP40（主體顏色：黑色） IP65（主體顏色：黃色）

照片中為 ø29中蘑菇頭形

ø29mm中蘑菇頭形

1NC XA1E-BV3U01KY XA1E-BV3U01Y 1個

2NC XA1E-BV3U02KY XA1E-BV3U02Y 1個

ø40mm大蘑菇頭形

1NC XA1E-BV4U01KY XA1E-BV4U01Y 1個

2NC XA1E-BV4U02KY XA1E-BV4U02Y 1個

• 按鎖定拉出或旋轉復歸型，按下按鈕後呈鎖定狀態，拉出按鈕或順時針旋轉復歸。• 另具備焊接兼用 110扁平端子型。請在上表訂購型號的 Y前加入「T」表示，例如：XA1E-BV3U02KY→ XA1E-BV3U02KTY

• ø16mm H6系列短體停止用開關 按鎖定旋轉復歸型

名稱 接點結構型號（訂購型號）

銷售單位焊接端子型 PCB用端子型

ø25mm中蘑菇頭形1NC HA1E-V2S1Y HA1E-V2S1VY 1個

2NC HA1E-V2S2Y HA1E-V2S2VY 1個

銘板

外觀 名稱 文字符號型號

（訂購型號）銷售單位 材質 背景顏色

ø16mm系列用D2

D1

ø29mm中蘑菇頭形用銘板 無 HAAV-0-W 1個

聚醯胺白色 （孟賽爾色標 N9.5）

ø40mm大蘑菇頭形用銘板 無 HAAV4-0-W 1個

ø22mm系列用D2

D1

ø40mm大蘑菇頭形用銘板 無 HWAV-0-W 1個

ø60mm特大蘑菇頭形用板 無 HWAV5-0-W 1個

19/05/2014