Spectroscopie Raman comme sonde submicrométrique de ... 25 … · V. Shur Ferroelectric...

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Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique & Systèmes CNRS UMR 7132 Spectroscopie Raman comme sonde submicrométrique de caractérisation des microstructures de niobate de lithium P. Bourson , I. Durickovic, L. Guilbert, Y. Zhang, A. Harhira, JP Salvestrini, M. Aillerie and M.D. Fontana S. Kostritskii MPTE Dept, Moscow Institute of Electronic Technology, Zelenograd, Russia V. Shur Ferroelectric laboratory, Ural univsersity, Ekaterinbourg, Russia

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  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique & SystèmesCNRS UMR 7132

    Spectroscopie Raman comme sonde submicrométrique de caractérisation des

    microstructures de niobate de lithiumP. Bourson, I. Durickovic, L. Guilbert, Y. Zhang, A. Harhira,

    JP Salvestrini, M. Aillerie and M.D. Fontana

    S. KostritskiiMPTE Dept, Moscow Institute of Electronic Technology, Zelenograd, Russia

    V. ShurFerroelectric laboratory, Ural univsersity, Ekaterinbourg, Russia

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Plan de l’exposé

    * Le niobate de lithium (LN) ?

    * Exemples d’utilisation de la spectroscopie Raman pour la caractérisation de microstructures de LN

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Pourquoi le niobate de lithium ?

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    LN a une très intéressante combinaison de propriétés optiques

    – EO (rc=20pm/V, r22=6,8pm/V )– ONL (d33=-27pm/V)– Transparent aux longueurs d’onde télécommunication - Stabilités thermiques et mécaniques

    Niobate de LithiumLN

    - dans les systèmes optiques intégrés : Dans la télécommunication : comme Modulateur externe (taux > 40Gbits/sec) - dans les lasers de Q-Switch : comme élément actif Dans les fonctions optiques : dans le stockage holographique …

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    LIMITATIONS

    Défauts liés à nonstoichiometry(antisites, lacunes d'ions) = > non homogène de composition

    LN

    • Très bas seuil de dommage optique LN 0.3 GW/cm2 (BBO 10 GW/cm²) (~8 - 10 NS Nd:YAG)

    . Les dommages dus à la température et dus au processus photo induits (Photoréfractrif et effets photovoltaïque)

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    Cristaux De Niobate De Lithium : Matériaux

    negative uniaxial crystal

    For T< TC =1200 °C, LN is ferroelectric

    Symetry: Rhomboedric ( C3V)

    CrystalStructure

    structural vacancy

    c LiNbO3

    Existence de défauts intrinsèques :NbLi, VLi, VNb

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Composition et défauts intrinsèques

    Composition:

    ][][][NbLi

    LiX j +=

    Congruent : Xm = Xc = 48.6mol%

    Stoechiométrique : Xc = 50 mol%

    Diagramme de phase Li2O - Nb205 *

    Existence des défauts intrinsèques :NbLi, VLi, VNb

    * Svaasand et coll. J. Crystal Growth 22 (1974) 230

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Lithium Niobate Crystals: Material

    Grande possibilitéd’incorporations de dopant :

    Fe, Cu and Mn: augmentation des propriétés

    photo réfractives : Mémoires holographiques

    Mg, Zn, In and Sc: diminution de l’effet photo

    réfractif : Modulateurs, applications laser

    La dépendance des propriétés physiques et optiques avec la

    composition (défauts intrinsèques) et la concentration et la nature du dopant (défauts extrinsèques) :

    Rôle des défauts intrinsèques et extrinsèques ?

    Existence de seuil dans les propriétés en fonction des défauts ?

    Mécanismes physiques ?

    Quel genre d'applications ? Dispositifs ou composants ? ? ?

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    Buts des étudesButs des Buts des éétudestudes

    Pour adapter les propriétés fonctionnelles de LiNbO 3

    dopage adaptéRéduire les défauts intrinsèques

    Variation de composition du cristal

    48,6 % < Xc < 50 %.

    Résistance aux dommages optiques Pour améliorer les

    propriétés PR du matériel pour des applications

    holographiques Applications

    Laser Impuretés résistantes

    Mg, Zn, In, Sc…Impuretés Photorefractives

    Fe, Cu, Mn…

    Ions Actifs Rare eaths Nd, Er, Dy

    Metals of transition Cr, Ni

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Contrôler, qualifier, optimiser notre matériaux pour une fonction optique

    donnée

    Deux des outils pour cela sont :

    La micro spectrométrie Raman

    La luminescence polaron

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Characterisation of intrinsic factors:

    Raman Spectroscopy in LN

    4A1(Z)+9E(X)+9E(Y)+5A2 Tenseur Raman :

    200 400 600 800 1000

    0

    1000

    2000

    3000

    4000

    5000

    6000z(yx)z

    E(TO8): O/OE(TO6): Li/O

    E(TO1): Nb/O

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    wavenumber (cm-1)

    ⎟⎟⎟

    ⎜⎜⎜

    ⎛=

    ⎟⎟⎟

    ⎜⎜⎜

    ⎛−=

    ⎟⎟⎟

    ⎜⎜⎜

    ⎛=

    ba

    aZA

    ddc

    cYE

    dc

    dcXE

    000000

    )(00

    000

    )(0000

    0)( 1

    200 400 600 800 10000

    500

    1000

    1500

    2000

    2500 y(zz)y

    A1(TO4): O/O

    A1(TO3): O/O

    A1(TO2): Li/Nb

    A1(TO1): Nb/O

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    wavenumber (cm-1)

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Protocoles de mesure :

    Raman, Polaron, absorption,…

    Cristaux de Niobate de Lithium : Matériau

    48,4 48,6 48,8 49,0 49,2 49,4 49,6 49,8 50,0

    6

    8

    10

    12

    14

    Dam

    ping

    of E

    (TO

    1) (c

    m-1)

    Composition XC (%)

    Détermination de composition

    Nb/Ovibration

    Mesure de composition :

    Exactitude 0.03 mol% Temps d'acquisition : 1s.

    Zhang, Bourson …. J. Phys.: Condens. Matter 18 (2006) 957–963

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Exemple de caractérisation de guide optique

    Etudes des guides optiques (exemple : Guide diffusé Ti)

    0 5 10 15 20 25 30 3511,0

    11,5

    12,0

    12,5

    dam

    ping

    of R

    aman

    pea

    k E

    (TO

    1)

    Γ1in the guide Γ1 outside the guide

    Real depth (µm)

    XC = 48.66 MOL%

    XC = 48.50 MOL%

    guide

    Taille de guide : largeur 4 µm de la profondeur 10 de µm

    Ti

    LN wafer

    T > 1000°C reduced atmospher

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Exemple de caractérisation de guide optique

    La mesure de la largeur à mi hauteur des raies Raman sur des guides LN:Ti permet de caractériser l'exodiffusion de

    Li à la surface avec de la bonne précision 0.03 mol%

    guide

    Exodiffusion du lithium

    • Contrôle de la structure guidante• Mesure de la dégradation de surface liée au processus de fabrication

    Caractérisation et optimisation du processus de fabrication du composant optique … in situ ?

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Analyse des stries de croissance sur certains échantillons

    Variation de composition de surface d’environ 0.07 mol%

    Retour sur les conditions de croissance …Characterization of short-range heterogeneities in sub-congruent lithium niobate by micro-Raman spectroscopy

    Y Zhang, L Guilbert, P Bourson, K Polgar and M D FontanaJ. Phys.: Condens. Matter 18 (2006) 957–963

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Etude des guides échangés proton

    200 400 600 800 10000

    50100150200250300350

    BA

    z(xx)z hors du guide z(xx)z dans le guide

    Inte

    nsité

    (u.a

    .)

    Décalage Raman (cm-1)

    Band A at 140cm-1 Band B at 670cm-1

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Etude des guides échangés proton

    A. Ridah, P. Bourson, M. FontanaJ. Phys.: Condens. Matter 9 (1997) 9687–9693.

    0 300 600 9000

    4

    8

    12

    Comparison between congruent and nearly stoichiometric samples

    B

    Xc = 48.51 % Xc = 49.67 %

    Inte

    nsity

    (A.U

    .)

    Wavenumber (cm-1)

    A

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Etude des guides échangés proton

    200 400 600 800 10000

    50100150200250300350

    BA

    z(xx)z hors du guide z(xx)z dans le guide

    Inte

    nsité

    (u.a

    .)

    Décalage Raman (cm-1)

    Band A at 140cm-1 Band B at 670cm-1

    Dues à un processus de densité d'état

    Dues de la rupture des règles de sélection du à la

    présence du désordre

    ε Phonon frequency

    LZBkr

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Micro-analyze Raman de guides échangés proton

    Bande BE(TO1)

    0 5 1 0 1 5 2 0 2 5

    -8

    -6

    -4

    -2

    0

    Prof

    odeu

    r rée

    lle (µ

    m)

    (µ m )Guide 7µm Guide7µm

    0 5 1 0 1 5 2 0 2 5

    - 8

    - 6

    - 4

    - 2

    0

    Prof

    odeu

    r rée

    lle (µ

    m)

    ( µ m )Guide 7µm Guide 7µm

    L'intensité de la bande B est plus intense

    dans le guide

    Augmentation des défauts intrinsèques

    avec H+

    Microscope confocal

    Perspectives : influence des traitements thermiques ou recuit, de la technique d’échange ….

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Guide SPE optimisé …

    20 nm

    68

    70

    72

    74

    76

    Length Y (µm)

    37.30 37.35 37.40 37.45Length X (µm)

    190

    180

    170

    160

    150

    140

    130

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Exemple ; utilisation de l’imagerie pour l’analyse de la structure PPLN

    En collaboration avec l'université Oural - V. Shur

    PPLN = Periodically-poled lithium niobatethe fabrication of compact coherent light sources in the visible range

    treatment of laser beam, SHG generation, NLO…

    Photoresist

    LiCl :liquid electrodeLiNbO3

    V+

    E

    Spontanious Polarisation

    Non renversed domain

    Renversed domain

    The electrical poling process

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Exemple ; utilisation de l’imagerie pour l’analyse de la structure PPLN

    Les besoins : contrôler la structure géométrique PPLN, connaître la physique du mécanisme de création des domaines (nucléation…)

    10

    20

    30

    40

    Length Y (µm)

    0 10 20 30 40 50 60

    Length X (µm)

    After poling, the domain structure can be revealed by chemical etching

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    PPLN Fabrication

    100 µm30°

    Z

    X

    Y

    PPLN after 10 min in hydro fluorhydric acid

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Micro-analyse Raman

    500 550 600 650 700 7500

    50

    100

    150

    200

    250

    609,06

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    Wavenumber (cm-1)

    500 550 600 650 700 7500

    50

    100

    150

    200

    250

    614,28In

    tens

    ity (a

    .u.)

    Wanenumber (cm-1)

    Hors du mur de domaine

    Sur le mur de domaine

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Mode à 614cm -1est différent

    que E(TO9) à 609cm -1

    Sensible de l'illumination de laser

    Vus seulement sur les murs de domaine

    Après 1 heure

    40 50 60 70 80285

    290

    295

    300

    305

    310

    315

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    y (µm)

    500 550 600 650 7000

    200400600800

    1000120014001600

    614cm-1

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    Wavenumber (cm-1)

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Quasi-mode ?« Pour une propagation arbitraire où (k ^ c) = θ , les modes activés sont des modes non purs appelés quasi-

    modes ou modes obliques et leurs fréquences sont différentes des fréquences des modes normaux se propageant le long ou perpendiculairement à l’axe optique (θ = 0° ou θ = 90°). »

    Les forces électrostatiques dominent Les forces de l'anisotropie dominent

    ELOA1LO ETOELO

    A1LO

    ETO

    A1TOA1TO

    0° 90°θ0° 90°θ

    θωθωω 22 )TO(A22

    )TO(E2TO sincos

    1+=

    θωθωω 22 )LO(E22 )LO(A2LO sincos

    1+=

    θωθωω 22 )LO(E22 )TO(E2 sincos +=

    θωθωω 22 )LO(A22

    )TO(A2 cossin

    11+=

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Explication: quasi-mode

    Laser beam

    Domain wall

    Strong space charge field generated inside the focused beamat domain wall

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Explication: quasi-mode

    Quasi-modes avec la symétrie mixe(les forces électrostatiques dominent )

    θωθωω 22 )(22

    )(2 cossin

    1 TOETOATO+=

    x

    y

    30°Esc

    Polarisation

    Avec un angle de 30°, et A1 (TO4) à 634 cm-1 et E(TO9) à 609 cm-1

    Le mode quasi apparaît à 614 cm-1

    Exactement la valeur trouvée dans les spectres de Raman sur le mur de domaine

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Example; Image of structure PPLN on a congruent crystal

    10

    20

    30

    40

    Length Y (µm)

    0 10 20 30 40 50 60

    Length X (µm)

    0 2 4 6 8 10 1240

    60

    80

    100

    Inte

    nsity

    (a.u

    .)

    X (µm)

    150 cm-1SHUR 10

    Intensité du pic la crête Raman vers 150 cm-1

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Étude Raman d’une PPLN

    20

    40

    60

    80

    100

    X(-0.1µm)

    850 900

    Wavenumber (cm-1)

    300

    250

    200

    150

    100

    50

    0

    20

    40

    60

    80

    100

    Point

    550 600 650

    Wavenumber (cm-1)

    300

    250

    200

    150

    100

    50

    0

    4000

    3000

    2000

    1000

    0

    640 650 660 670 680

    Z(xy)Z

    vibration Nb/O mode A1(LO4)

    Interdit dans cette configuration

    Désordre structural Désordre « électronique »

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Conclusions ….Mesures Raman et polaron

    • Méthode non destructive pour des caractérisations des profils de guide d’onde

    • Rapide et résolus spatialement

    • Liens avec des défauts intrinsèques

    • Comportement « électronique » du substrat et du guide (en partie le taux de réduction chimique …..)

    • Étude des propriétés photoréfractive ou photovoltaïque (mesure des phénomènes de pré-endommagement optique )

    • …. In situ

    Études de structure, de qualité et de homogénéitéde différents types des guides d’onde dans LiNbO3 (LN).

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    European Conference onApplications of Polar Dielectrics

    (ECAPD’8)

    Metz (France)5-8 September 2006

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Topics ECAPD’8 Metz 5-8 Sept ‘06• Materials research (single crystals, thin films, ceramics, polymers, composites and liquid crystals, processing and fabrications technologies)

    • Study of application oriented physical properties of dielectrics (ferro-, piezo- and pyro-electric properties, electrooptical and non-linear effects, photorefractivity and photoconductivity, ultrasonics, high Tcsuperconductivity, ionic conductivity, microstructure related properties, domain engineering).

    • Device research (piezoelectric transducers, smart sensors and actuators, pyroelectric detectors, electro-optic modulators and displays, 2D and 3D optical storage devices, optical signal processors, optical frequency converters, periodically poled ferroelectric devices, ferroelectric memories and integrated optical devices, microelectromechanical systems)

    www.ecapd8-metz.net

    http://www.ecapd8-metz.net/

  • 12èmes journées thématiques GFSV

    Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique & SystèmesCNRS UMR 7132Composition et défauts intrinsèquesButs des étudesCharacterisation of intrinsic factors: Raman Spectroscopy in LNEtude des guides échangés protonEtude des guides échangés protonEtude des guides échangés protonMicro-analyze Raman de guides échangés protonPPLN FabricationMicro-analyse RamanExplication: quasi-modeExplication: quasi-mode