JNRDM 2005

8èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique

PARIS 10 – 12 mai 2005

Editorial

Les Journées Nationales du Réseau Doctoral Microélectronique et Micro et Nanotechnologies qui se tiennent, pour l’année 2005, à Paris sont l’aboutissement d’un cycle de huit ans qui a commencé à Toulouse.

L’intérêt pour ces Journées n’a jamais faibli… On peut même dire qu’il est allé crescendo au fil du temps. C’est ainsi que près de 200 participants sont aujourd’hui attendus !

La nombreuse participation et l’excellence des interventions, tant orales que sous forme de posters, constituent un signal fort vers nos tutelles et vers le Ministère de L’Education Nationale et de la Recherche dont nous sommes fiers de revendiquer le haut patronage.

Je suis sûr que, par les améliorations apportées chaque année par les responsables locaux des Journées et par les innovations que le Comité parisien a introduites, ces Journées du Réseau Doctoral se pérenniseront et deviendront, dans un futur proche, une Manifestation incontournable.

Je souhaite à tous les participants aux Journées un bon travail, dans une ambiance chaleureuse et conviviale. Augustin Martinez Responsable du Réseau Doctoral

Présentation des JNRDM 2005

La 8ème édition des Journées Nationales de Réseau Doctoral de Microélectronique, Micro et Nanotechnologies aura lieu à Paris du 10 au 12 mai 2005.

Depuis 1998, les Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique sont l'occasion de regrouper tous les ans les doctorants du domaine, pour leur permettre d'échanger leurs idées, de confronter leurs points de vue, et surtout, de découvrir la diversité de leurs thèmes de recherche. L'objectif de ces journées est de présenter tout le spectre de la microélectronique, de la conception à la technologie. Pour l’édition parisienne 2005, environ 180 doctorants sont au rendez-vous pour présenter leurs travaux, oralement ou par poster, sur les thèmes suivants :

• Micro et nanotechnologies : procédés de fabrication • Nanostructures pour l'électronique • Microcapteurs et microsystèmes • Conception/test de circuits et systèmes intégrés • Microélectronique de puissance • Fiabilité et analyse de défaillance • Electronique moléculaire • Bio-puces • Sécurité, cartes à puces

Nous vous souhaitons à tous un bon séjour dans la capitale, en espérant que

vous apprécierez l’ambiance parisienne.

Le comité d’organisation des JNRDM’05

Présentation des pôles

Le Réseau Doctoral de Microélectronique est organisé autour de 9 pôles :

• Pôle Ile de France : Paris

• Pôle Nord Ouest : Rennes

• Pôle Nord Est : Strasbourg

• Pôle Sud Ouest 1 : Toulouse

• Pôle Sud Ouest 2 : Montpellier

• Pôle Provence Alpes Côte d’Azur : Marseille

• Pôle Aquitaine : Bordeaux

• Pôle Rhône Alpes - Auvergne : Grenoble

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Localisation des différents pôles et des villes organisatrices des précédentes journées

Le comité d’organisation

Doctorants responsables des équipes :

• Guillaume AGNUS, IEF-Orsay, transports • Tiphaine ATTILA, AXIS, IEF – Orsay, sponsors institutionnels • Hugues CAZIN D’HONINCTHUN, IEF – Orsay, transports • Antoine FLEURENCE, IEF – Orsay, transports • Emile GREMION, LPN – Marcoussis, kit congressiste • Sylvain GUILLEY, ENST – Paris, responsable du comité d’organisation, logistique • Delphine MARRIS, IEF – Orsay, contenu scientifique et gala/sortie culturelle • Ludovic NOURY, LIP6 – Paris, communication • El-houcine OUBENSAID, IEF – Orsay, sponsors industriels • Jérôme SAINT MARTIN, IEF – Orsay, budget • Matthieu TUNA, LIP6 – Paris, communication • Marion WOYTASIK, IEF – Orsay, contenu scientifique et kit congressiste

Doctorants qui ont participé à l’organisation :

• Thomas ARNAL, IEF-Orsay • Julien BORGHETTI, CEA Saclay • Cédric BRELUZEAU, IEF – Orsay • Yohann DESCAMPS, IEF – Orsay • Sébastien LANI, IEF – Orsay • Sylvain MAINE, IEF – Orsay • Laurent SAUVAGE, ENST – Paris • Ritha SOULIMANE, IEF – Orsay

Responsables des Pôles du Réseau National Doctoral de Microélectronique

• Pôle PACA : Thierry DI GILIO, responsable permanent Rachid BOUCHAKOUR, • Pôle Aquitaine : Fabien ESSELY, responsable permanent Nathalie LABAT, • Pôle Ouest : Ludovic BARRANDON, responsable permanent Olivier BONNAUD, • Pôle Rhône-Alpes/Auvergne : Nicolas BRESSON, responsable permanent Pierre GENTIL, • Pôle Sud-Ouest 1 : Christian CARAMEL, responsable permanent Augustin MARTINEZ, • Pôle Sud-Ouest 2 : Sébastien SOLIVERES, responsable permanent Michèle PEROTIN, • Pôle Nord-Est : Frédéric MOREL, • Pôle Ile de France : Delphine MARRIS, Sylvain GUILLEY, responsable permanent Arnaud

BOURNEL.

Permanents qui ont aidé à l’organisation :

• Marie BAQUERO, ENST – Paris • Arnaud BOURNEL, IEF - Orsay, responsable permanent du pôle IDF • Sylvie DURAND, IEF – Orsay • Blondine GABILLAT, IEF – Orsay • Bénédicte HUMBERT, ENST – Paris • Sylvie MAUSSION, IEF – Orsay • Eliane PRETI, ENST – Paris • Nathalie ROY-LAVERGNE, IEF – Orsay

Remerciements

Les organisateurs de l’édition 2005 des Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique remercient pour leur soutien et leur participation les organismes et sociétés suivantes :

• Le Ministère de la Recherche et de l’Enseignement Supérieur • La Région Ile de France • Comité National de la Formation en Microélectronique (CNFM) et en

particulier ses pôles parisiens (PMIPS, CEMIP) • Le GDR 20 54 nanoélectronique du CNRS • L’Institut d’Electronique Fondamentale • La Centrale de Technologie Universitaire IEF/MINERVE • Le Laboratoire de Photonique et Nanostructures • Le Laboratoire d’Informatique de Paris 6 • Télécom Paris (ENST) • L’Université Paris Sud • L’école doctorale STITS de Paris XI • L’école doctorale EDITE de Paris • L’école doctorale GEET de Toulouse III • L’école doctorale SPI de Bordeaux I • L’école doctorale MATISSE de Rennes I • Le Groupe des Ecoles des Télécommunications • Le CEA • Le CNRS • Le Centre de compétences en Nanosciences C’Nano d’Ile de France • Optics Valley • Le syndicat des industries de tubes électroniques et semiconducteurs

(SITELESC) • Atmel • Gemplus • Philips • ST Microelectronics

Nous tenons également à remercier les membres du comité d’organisation des éditions précédentes, pour leur aide et leur disponibilité. Enfin, nous remercions plus particulièrement Arnaud Bournel, pour sa grande participation et son soutien sans faille à l’organisation des JNRDM’05.

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Sommaire

Session orale 1 : Conception / test de circuits et systèmes intégrés (1) 1

L. Barrandon - Développement et Synthèse d’un Filtre Farrow Entièrement Générique en VHDL, Application à la Radio Logicielle Restreinte

3

S. Darfeuille - Nouvelle topologie de filtre récursif différentiel passe-bande sur Silicium accordable autour de 2 GHz

6

R. Lemaire - Evaluation des performances de transferts de données sur un NoC régulé par mécanisme de contrôle de flux

9

Session orale 2 : Fiabilité et analyse de défaillance 13

A. Regnier - Modélisation d'un dopage non uniforme de substrat pour les transistors MOS submicroniques

15

V. Bouquet - Variation de la tension de seuil d’une mémoire FLASH lors d’une rampe d’effacement de type Fowler Nordheim

18

H. Chabane - Evaluation de la dangerosité de l'environnement radiatif atmosphérique aux altitudes avioniques : détection des ions secondaires issus de l'interaction n-Si à l'aide d'un détecteur semi-conducteur

21

Session orale 3 : Micro et nanotechnologies : procédés de fabrication 25

N. Bresson- Intégration de matériaux à forte conductivité thermique pour les transistors MOSFET sur SOI

27

S. Chhun - Intégration et caractérisation de barrières auto-positionnées pour la passivation des interconnexions cuivre sub-65 nm

30

S. Point - Nanotubes et nanofibres de carbone en vue d'applications pour l'électronique du futur 33 P. Abgrall - Développement et caractérisation de microtechnologies polymères monolithiques pour les laboratoires sur puces

36

Session orale 4 : Nanostructures pour l'électronique 39

H. Cazin d'Honincthun - Etude et simulation du transport dans les nanotubes de carbone semi-conducteurs

41

S. Duguay - Fabrication de nanocristaux de germanium par implantation ionique et applications à effet mémoire

44

G. Pailloncy - Propriétés hyperfréquences et de bruit des filières conventionnelles de transistors MOS à grille sub-100 nm

47

M. Rouvière - Etude de photodétecteurs en germanium épitaxié sur SOI pour les interconnexions optiques intra-puce

50

Session orale 5 : Conception/test de circuits et systèmes intégrés (2) 53

D. Dupuis - Etude comparative de deux algorithmes de placement de systèmes intégrés sur puce 55 E. Labonne - Un capteur de vision CMOS pour la sécurité automobile 58 A. Zakzouk - Architecture et conception d’un système de localisation multi capteurs pour véhicules intelligents

61

Session orale 6 : Microélectronique de puissance 65 A. Canepari - L'auto-échauffement dans les structures MOS hautes tensions : méthode DC d'extraction de la résistance thermique et sa validation SPICE

67

R. De Maglie - Un nouveau modèle distribué d'IGBT à tranchées avec ses paramètres thermo-sensibles

70

Session orale 7 : Bio-puces / Electronique moléculaire 73 E. Galopin - Lab-on-Chip intégrant un microréseau de cellules isolées et un nanodispositif fluidique de détection de protéines

75

N. Huby - Diodes électroluminescentes organiques blanches 78

Session orale 8 : Sécurité, cartes à puces 81

G. Leconte - Le brouillage de données : une voie sans issue ? 83 G. Bouesse - Les Circuits Asynchrones Quasi Insensibles aux Délais et la Sécurité Matérielle 86

Session orale 9 : Microcapteurs et microsystèmes 89

N. Moll - Détection d’espèces biologiques en milieu liquide utilisant des capteurs à ondes de Love 91 A. Laabidi - Etude par Spectroscopie d'Impédance de Capteurs de gaz à base de WO3 94 A. Renaudin – Nanopompe SAW dédiée à la microfluidique discrète pour applications biologiques 97 P. Pennarun - Développement d'une micro-amorce pyrotechnique sécurisée intégrée sur silicium 100

Session poster 1 : Microcapteurs et microsystèmes (1) 103

L. Zhou - Conception de Micro-Structures Intelligentes à Base de Microsystèmes Décentralisées et Autonomes Combinant Technologies MEMS et Microélectronique

105

R. Boulmani - Micro capteur d’Ozone à base de couche mince de WO3 déposée par pulvérisation cathodique magnétron : Influence de la tension de polarisation de la cible

108

O. Arrijuria - Outil d'aide à la conception d'accéléromètre capacitif 111 M. Link - Microstructures FBAR montées sur miroir acoustique exploitant le mode de cisaillement dans des films minces de ZnO et opérant en milieu liquide

114

S. Mailfert - Comparaison de différents modes d'imagerie AFM sur échantillons biologiques : étude préliminaire en vue de la mise en place d'un AFM / Fluorescence-SNOM

117

K.A. Ngo - Analyse qualitative et quantitative de gaz par une approche de type nez électronique 120 F. Parret - Détection de gaz polluants par l'analyse dynamique d'un bicapteur à base de SnO2 nanoparticulaire

123

F. Moreira - Développement d'un microsystème à base de dispositifs miniatures à ondes élastiques de surface pour le contrôle d'une atmosphère gazeuse

126

D. Beyssen - Microsystème fluidique à base d'ondes acoustiques de surfaces (SAW) 129 B. Torbiero - Développement des microélectrodes en technologie silicium pour l'analyse chimique et biochimique

132

Session poster 1 : Conception/test de circuits et systèmes intégrés (1) 135

Z. Sassi - Filtre Actif LC Accordable et Différentiel à 2 GHz sur Silicium 137 R. Roubadia - Simulation du bruit de phase de la PLL basée sur un modèle petit-signal 140 M.T. Diaby - Intégration d'un mécanisme de détection d'erreur et de garantie d'acheminement autour d'un micro-réseau intégré sur puce respectant la norme VCI

143

A. Malaoui - Développement électronique en utilisant le microcontrôleur ST62 pour le contrôle de température ultrasonore par l'agorithme PI

146

M. Ghorbel - Copieur de courant modélisé et vérifié en VHDL-AMS 149 D. Cardoso de Souza - Proposition d’un algorithme de partitionnement matériel/logiciel, optimisé pour des systèmes multi-modes reconfigurables

152

B. Folco - Synthèse et projection technologique de circuits asynchrones Quasi-Insensibles aux Délais

155

A. El Mourabit - Multiplieur faibles tension et alimentation basé sur des transistors MIFG-MOS 158 A. Konam - Conception d'une carte d'acquisition et de multiplexage numérique de 256 canaux destinée à la transmission sans fil en millimétrique de données dans un environnement indoor dans le domaine médical

161

Session poster 1 : Fiabilité et analyse de défaillance (1) 165

M. Belaid - Modélisation des interactions Electrothermiques dans un transistor RF LDMOS de puissance

167

N. Ismail - Méthodologie pour la définition d'une aire de sécurité de fonctionnement statique de la technologie MESFET sur substrat GaAs

170

C. Breluzeau - Microscopie interférométrique avec analyse par Transformée de Fourier : automatisation pour la topographie de microsystèmes

173

A. Gendron - Nouvelles Structures de Protection contre les Décharges Electrostatiques en Technologies SmartPower

176

S. Boutahar - Fiabilite des cellules memoires non volatiles 179

Session poster 1 : Micro et nanotechnologies : procédés de fabrication (1)

183

V. Vervisch - Cellules photovoltaïques à jonctions P+N préparées par immersion dans un plasma de BF2+

185

T. Kociniewski - Conversion de couches de diamant de type p dopées bore en diamant de type n par exposition à un plasma micro-onde d'hydrogène

188

S. Lani - Etude de métallisations Or pour l’Assemblage de Substrats Silicium par Soudure Eutectique Au-Si

191

M. Thomas - Intégration d'une capacité damascène Métal-Isolant-Métal Cu/SiN/TaN/Cu dans les interconnexions en cuivre

194

K. Hoummada - Redistribution du platine lors de la formation des siliciures de nickel par réaction d’un film de Ni(5%Pt)/Si (100)

197

G. Agnus - Croissance auto-organisée de nanostructures sur surface de Si(111) texturée 200 C. Ortolland - Etude de différentes options d’amélioration des performances du transistor NMOS 65 nm par contraintes mécaniques

203

Session poster 2 : Bio-puces / Electronique moléculaire 207

V. Lavalley - Biopuces à ADN à détection électrique : étude de l'effet du couplage éléctrode/ADN/nanoparticule métallique

209

V. Mille - Bio MicroFluidic System (ou BioMFS) pour l’analyse de biomolécules par spectroscopie diélectrique

212

J.C. Galas - Dispositifs Microfluidiques en élastomère : fabrication, caractérisation et adaptation à l'étude de la vascularisation du tissu vivant

215

Y. Bornat - Un ASIC mixte neuromimétique paramétrable dédié aux neurosciences computationnelles

218

A. Aziz - Modélisation des caractéristiques courant-tension des diodes Schottky en Polymères 221 A. Treizebre - Spectroscopie diélectrique de cellules vivantes en ondes millimétriques et THz 224 A. Zebda - Nouvelles électrodes semiconductrices pour la détectection électrique de l'hybridation de l'ADN

227

Session poster 2 : Microcapteurs et microsystèmes (2) 231

P. Nicolay - Micro-capteurs SAW : étude de l'effet des ondes acoustiques de surface sur l'adsorption gaz / surface par spectrométrie d'électrons AUGER

233

M. Barakat - SMART DUST : La nouvelle technologie 236 M. Woytasik - Antennes souples pour l'IRM réalisées par micromoulage de cuivre 239

M. Madec - Les modulateurs spatiaux de lumière. Etat de l'art et application à la corrélation optique 242 F. Morel - Imageur CMOS pour l'observation d'impulsions lumineuses brèves de faible puissance 245 F. Flourens - Micro commutateur RF à faible tension d'actionnement 248 E. Jacques - Micro-Système et Capteur Intégrés en Technologie Couches Minces Basse Température

251

C. Amat - Détection latérale de l'émission spontanée pour le monitoring de lasers à cavité verticale 253 A. Dhayni - Autotest intégré des microsystèmes nonlinéaires 256 S. Gomri - Modélisation du bruit d'adsorption-désorption dans les microcapteurs de gaz résistifs 259

Session poster 2 : Conception / test de circuits et systèmes intégrés (2) 263

Y. Atat - Conception des Systèmes Multiprocesseurs Monopuces à partir de Matlab\Simulink 265 S. Belloeil - Optimisation de chemins de données par l'utilisation de l'arithmétique redondante 268 N. Badereddine - Analyse et Réduction de la Puissance de Pic Durant le Test Série 271 M. Sroka - Zephyr : Un outil d'analyse de timing pour placement-routage timing-driven de système intégrés sur puce

274

H. Mrabet - FPGA Embarqué pour système sur puce 277 D. Axelrad - Conception d'un VCO Multi-phase 4x10 GHz en CMOS/SOI 130 nm pour application 40Gbit/s

280

B. Saillet - Etude de l’influence de la géométrie sur les tensions de seuil dans les mémoires Flash 282 A. Triantafyllou - Intégration d'antennes miniatures en guise d'interconnexions RF 285 A. El Abbazi - Caractérisation Electromagnétique des PCB pour Microcontrôleur : Modèle ICEM 288

Session poster 2 : Nanostructures pour l'électronique (1) 291

V.N. Do - Utilisation des fonctions de Green pour l'étude des propriétés de transport électronique dans les nano-structures

293

S. Maine - Miroirs de Bragg pour la modulation optique dans les circuits intégrés CMOS 295 M. Reyboz - Le mosfet double-grille et sa modélisation compacte 298 J.L. Botrel - Etude de transistors en couches minces polysilicium réalisées à basse température sur verre

301

E. Grémion - Réalisation et mise en œuvre de transistors balistiques à contact ponctuel quantique 304 J. Borghetti - Contrôle chimique et optique de transistors a base de nanotubes de carbone autoassemblés

306

B. Leriche - Effets de charge dans une grille flottante à nano-cristaux 308 A. Boukhenoufa - Modélisation empirique de la conduction et du bruit en 1/f dans les transistors en couche minces de silicium polycristallin

311

A. Fleurence - Nano-particules magnétiques sur substrat de silicium (111) vicinal 314

Session poster 3 : Conception / test de circuits et systèmes intégrés (3) 325

T. Levi - Implantation sur Silicium en Technologie CMOS d'un modèle de Neurones Biologiquement Réalistes

319

O. Bernal - Mémoire de Courant Différentielle en Technologie CMOS basse tension pour Convertisseurs Analogique-Numérique

322

M. Fillaud - Nouvel amplificateur non-inverseur programmable sans résistance passive 325 J. Roche - Circuits de génération d’horloges 328 L. Dilillo - Incidence des défauts résistifs dans les circuits de précharge des Mémoires SRAM 331 C. Tassin - Emetteur Zero-IF WCDMA à boucle cartesienne avec traitements numeriques 334 A. Cros - Caractérisation électrique de transistors à grille enrobante (GAA) 337 A. Bounceur - Génération de vecteurs de test pour des MEMS purement nonlinéaires pour le calcul des noyaux de Volterra

340

Session poster 3 : Nanostructures pour l'électronique (2) 343

Y. Benachour - Caractérisation de nouveaux matériaux et utilisation en optique non linéaire dans des dispositifs à cristaux photoniques

345

J.P. Tourrenc - Bruit de Fréquence dans les VCSELs oxydés émettant autour de 850nm 347 J. Saint Martin - Prise en compte de la quantification perpendiculaire au transport dans lestransistors MOSFET à double grille par simulations Monte Carlo

350

A.M. Jaud - Modélisation des effets de confinement quantique par Simulation Monte-Carlo : approche du potentiel effectif

352

M. Ferrier - Modèle compact pour la quantification et transport quasibalistique dans les n-MOSFETs bulk et SOI totalement désertés

355

C. Chluda - Lasers de Pompe fibrés à 1460nm-Analyse Spectrale et Bruit Optique d’Amplitude basse et moyenne fréquence

358

M. Bedjaoui - Elaboration de nanocristaux de silicium par recuit thermique des films non stoechiométriques SiOx (x<2) obtenus par PECVD

361

A. Iaia - Réalisation et caractérisation de dispositifs à base de nanotubes de carbone autoassemblés par CVD assisté filament chaud

364

S. Massaoudi - Effet de défauts de surface sur l’amplification de la transmission anormale dans un prisme-BIP diélectrique

367

Session poster 3 : Microélectronique de puissance 371

M. Alwan - Analyse de la dégradation des paramètres du transistor VDMOS de puissance sous des conditions de stress thermique

373

C. Baron - Influence de la position du substrat et de la proportion de méthane sur la qualité et les défauts résiduels de couches homoépitaxiées de diamant

376

A. Salles - Etat d’avancement dans le dimensionnement d’inductances planaires pour convertisseurs intégrés de faible puissance

379

A. Cid-Pastor - Analyse et Conception de Girateurs de Puissance en Mode de Glissement 382 M. Rizzi - Contribution à l'étude de la fiabilité de modules de puissance pour des applications automobiles

385

Session poster 3 : Micro et nanotechnologies : procédés de fabrication (2)

389

Y. Descamps - Détermination de la surface spécifique de couches de silicium poreux de même porosité et même épaisseur : influence de la densité de courant

391

T. Arnal - Un bi-stable magnétique nanostructuré à base d’oxydes demi-métalliques pour l’électronique de spin

394

T. Pier - Réalisation de transistors sur substrat souple à partir de silicium amorphe déposé à basse température puis cristallisé par laser excimère

397

M. Darnon - Impact d’un masque dur TiN sur la gravure par plasma des diélectriques d'interconnexion dans une structure simple damascène

399

E. Lassaad - Modélisation de la gravure par faisceau ionique assistée chimiquement de la GaAs par l'argon et le chlore

402

J. Tranchant - Contrôle des contraintes résiduelles dans des couches minces de MoCr par pulvérisation magnétron ionisée

405

E.H. Oubensaid - Détection d’arrêt de gravure par réflectivité optique, pour la réalisation de jonctions tunnel magnétiques

408

Session poster 4 : Conception/test de circuits et systèmes intégrés (4) 411

V. Cheynet de Beaupré - Etude du bruit de phase d’un oscillateur en anneau fonctionnant à 2.45GHz

413

A. Peizerat - Imageurs CMOS : vers une numérisation sous le pixel 416 M. Pelissier - Développement d’architectures et de fonctions RF avancées pour la réception de signaux très larges bandes (UWB) dans les applications bas-débit

419

L. Forli - Diagnostic du Back-end basé sur la Caractérisation d’Oscillateurs en Anneau 422 E. Ntagwirumugara - Co-intégration du filtre à ondes de surface avec amplificateur faible bruit pour les téléphones mobiles

425

C. Perrine - Transmission d’images fixes par voie ionosphérique en temps réel 428

A. Grasset - Vers l’Automatisation de la Conception des Coprocesseurs de Communication pour les Systèmes Monopuces

430

A. El Oualkadi - Conception d’un filtre agile à fort facteur de qualité en technologie BiCMOS pour les radiocommunications sans fil

433

Session poster 4 : Fiabilité et analyse de défaillance (2) 437

P. Mora - Structure de test auto-chauffante basée sur des résistances poly silicium et des diodes P+/N : Application au trasfert de charges dans les mémoires non volatiles

439

J. Mitard - Etude des propriétés électriques des empilements high-k/grille métal pour les transistors CMOS de générations sub-100nm

442

D. Ney - Analyse statistique des défaillances des interconnexions par électromigration 445 M. Bernard - Etude de l’influence du champ électrique sur la dégradation des transistors bipolaires en environnement spatial

448

S. Mouhoubi - Modélisation de mémoires non volatiles pour des applications hautes températures : Courant de fuite SILC

451

Session poster 4 : Sécurité, cartes à puces 461

Y. Monnet - Analyse du comportement des circuits asynchrones en présence de fautes 455 S. Guilley - Implémentation d'un multiplieur de Montgomery sécurisé et cascadable 458 A. Razafindraibe - Technologie asynchrone QDI pour la sécurité des cryptosystèmes 461 N. Valette - Intégration d'un coeur reconfigurable dans un composant sécurisé 464 E. Bergeret - Etude des convertisseurs de tension RF/DC à base de diodes Schottky pour les systèmes RFID

466

L. Sauvage - Attaques matérielles : état de l’art 469 K. Hadjiat - Modélisation de fautes et génération de mutants pour analyse de robustesse de circuits sécurisés

472

D. Fronte - Analyse d’un crypto-processeur pour les cartes à puce 475 A. Margalef - Conception d’antennes miniatures pour systèmes RFID UHF 478

Session poster 4 : Micro et nanotechnologies : procédés de fabrication (3)

481

V. Raballand - Gravure de matériaux à faible constante diélectrique (low-k): recherche de nouveaux procédés de gravure par plasma

483

T. Nychyporuk - Formation de nanoparticules de Si par la gravure électrochimique 486 F. Nemouchi - Formation linéaire-parabolique de Ni2Si caractérisée par diffraction de rayons X et calorimétrie différentielle à balayage

488

L. Ehouarne - Limitations du Cobalt dans le procédé Salicide et comparaison avec le Nickel 491 J. Vitiello - Caractérisation d’un matériau diélectrique poreux à très faible permittivité utilisé pour l'isolation des interconnexions cuivre des circuits intégrés sub-65 nm

494

O. Ghobar - Propriétés électriques de transistors MOS à diélectrique de grille à haute permittivité en remplacement de l’oxyde de silicium(SiO2)

497

A. Bousquet - Elaboration et caractérisation de couches minces de SiO2 déposées en plasma pulsé de O2/HMDSO à basse température pour le développement de nouvelles filières de composants intégrés

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