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Fabrication des microsystèmes Applications Outils de conception Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
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Fabrication des microsystèmes
Applications
Outils de conception
Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
Photolythographie
Principes généraux
Fabrication des microsystèmes
Substrat (Si)
Couche photo-sensible
Masque
UV
Substrat (Si)Dissolutionde la couche
photo-sensibleexposée
Photolythographie
Substrat (Si) Substrat (Si)
+ Déposition (physique ou chimique)
Dissolutionde la couche
photo-sensible
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
PhotolythographieDéposition (physique ou chimique)
Substrat (Si)
Solution chimique
Substrat (Si)
+ Gravure (humide ou sèche)
Dissolutionde la couche
photo-sensible
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
Photolythographie
Gravure (humide ou sèche)Déposition (physique ou chimique)
Substrat (Si) Substrat (Si)
IONS
+ Diffusion ou implantation d'impuretés (ions)
Dissolutionde la couche
photo-sensible
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
Substrat de type p
nn
Oxyde
Source Gâchette Drain
Métal
Exemple: MOSFET
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
Fabrication des microsystèmes
Applications
Outils de conception
Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
Circuits intégrés spécifiques (ASICs)
Micro-électronique Microcontrôleurs Microprocesseurs Circuits programmables (PLDs, FPGAs)
Fiabilité, sécurité, performance
Applications
Micro-électromécanique Capteurs Moteurs Relais et Interrupteurs Composants électromagnétiques
Faibles consommation, poids, coût Possibilités d'intégration Fiabilité
Applications
Microfluidique Conduits Valves, pompes, vannes Filtres, mélangeurs, échangeurs thermiques
Faible coût Optimisation des réactions et mélanges Fiabilité
Applications
Fabrication des microsystèmes
Applications
Outils de conception
Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
Microélectronique
Outils de conception
if input='1' then output <= '0';else output <= output;end if;...
NUMÉRIQUE: VHDL (Hardware Description Language)
SynthèseConception
ANALOGIQUE: Schématique
Micro Electro-Mécanique
Outils de conception
Synthèse
Conception
