Midi Pyrénées au cœur de la Midi Pyrénées au cœur de la recherche européennerecherche européenne

Hôtel de Région Midi Pyrénées24 octobre 2011

La plateforme de technologie du CNRS-LAAS

PLAN DE LA PRÉSENTATIONPLAN DE LA PRÉSENTATION

La plateforme de technologie Les projets soutenus et le réseau

Renatech La région Midi-Pyrénées et la

plateforme La plateforme dans l’espace européen

de recherche

LA PLATEFORME DE LA PLATEFORME DE TECHNOLOGIETECHNOLOGIE

HISTORIQUEHISTORIQUE

Troisième génération de centrale de technologie au LAAS La première en milieu académique en France

1968 : salle propre

2005-2007 : plateforme de technologie 1978 : salle blanche

INFRASTRUCTUREINFRASTRUCTURE 3.7 M€ (700 m² +

bureaux) CPER 2000-2005 Ouverture juin 2005

3.9 M€ (800 m²+ bureaux)

Financement RTB Ressources propres Club des Affiliés Ouverture mai 2007

1500m2 de salle blanche

Classe 10 000 et 100

Salles dédiées Localement

Structure adaptable En épi FFU 4 niveaux

Infrastructure et soutien

A la Caractérisation

Lithographies optique, électronique, laser

Traitement thermique

Dépôt/croissance de films minces

E.J.M.

Gravure humide

Gravure plasma

Electrochimie

Implantation Ionique

Nano réplication

Packaging

De la Fabrication des masques

– 30 M€ d’équipements– Flexibilité / Répétabilité• Equipements manuels / Semi-automatiques /Automatiques

– Technologies Si et III-V (Base GaAs)• Nouveaux matériaux (GaN, Diamant, polymères, etc..)

– Substrats 4’’ compatibilité jusqu’à 6’’– Développements de technologies alternatives

Chimie

LES TECHNOLOGIESLES TECHNOLOGIES

visite virtuelle :http://www.cnrs.fr/cnrs-images/multimedia/laas/360/hall.html

Micro nano fluidique Detection Nano biotechnologiesIntégration de nanocanaux fluidiques

ADN dans les canaux

Microfluidique sur capteurs chemfet

Capteur de pression (physiologique

Piezo-electrique Optiquetransduction

Electro thermique

20 µm

Lithography douce pour le contrale de la mise en forme de macromolécules

EXEMPLES DE EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTSDEVELOPPEMENTS

MEMS Nanotechnologies Integration above IC

RF harvester

Antenne 160 GHz

Filtre accordable@60 Ghz

MEMS Reconfigurable 10 GHz à 94 GHz

Interrupteur capacitif 10 GHz à 94 GHz

Micro capteur de gaz

CNT array

DWCNTs mixture Si s.i.

gold

CPW

400 m

50 m 25m

1.4 m thick dielectric membrane

gas

Capteur de gaz RF

Résonateur 3D

RF MEMS sur circuit

SiGe

EXEMPLES DE EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTSDEVELOPPEMENTS

Sources optiques Fonctions intégrées

Cristal photonique à source laserDFB

Membrane (In)GaAs/AlGaAs

GaAsN-DBR

P-DBR

P Contact

AlOx diaphrag

SiO2

Final metal

SU-8

40~80-µm

SU-8

µ-lense

Air bridge

VCSEL contact pad

Lense

SU-8 pedestal

Réseau de micro lentilles autocentrées déposées par un microrobot

Intégration collective de microlentilles sur Vcsells pour collimation du faisceau

EXEMPLES DE EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTSDEVELOPPEMENTS

ConversionIntégration de composants passifs

Récupération/stockage

Super-junction MOS

BCB SiSi

100 100 µmµm

70 70 µmµm

IGBTIGBT

Filtre LC

IGBTFaibles pertes

In-situ boron doped polySi 1.5 mΩ.cm

substrat silicium dopé Antimoine – 6,5 mΩ.cm

SiO2 (5 nm) / Si3N4 (20 nm)

εr = 3.9 / 7

h w

e0 = 110nm

e = 30nm

h=

40m

w = 10m

µ super capacitors

Super condensateurs: Dépôts jet d’encre de charbons actifs

Varistances: Dépôts jet d’encre de particules ZnO

MEMS: récupération d’énergie de vibration

EXEMPLES DE EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTSDEVELOPPEMENTS

LES PROJETS SOUTENUSLES PROJETS SOUTENUSLE RÉSEAU RENATECHLE RÉSEAU RENATECH

Support et expertise technologique pour la R&D dans le domaine des micro et nano technologies

Opération, adaptation et développement de l’infrastructure Expertise, management, maintenance et développement des équipements Expertise, mise en œuvre, management, développement de processus

Génériques Spécifiques

Support des projets de recherche

Des groupes de recherche du LAAS 80 projets (2011) Projets exogènes60 projets (2010)

Formation. Capitalisation, valorisation, transfert de compétences

LES MISSIONSLES MISSIONS

MEMBRE DU RESEAU RENATECHMEMBRE DU RESEAU RENATECH

6 Laboratoires CNRS IEMN (Lille) LAAS (Toulouse) FEMTO (Besançon) FMNT-INAC (Grenoble) LPN (Marcoussis) IEF (Orsay)

Plateformes de niveau international pour l’accueil de partenaires académiques et industriels

Expertise technologique Soutien de projets Formation /accueil

Besançon

Grenoble

Lille

Toulouse

Orsay/ Marcoussis

++ Nanophotonics III-V et Si++ Devices and circuits for spintronics

+ optoelectronic devices

++ Si nanoelectronics+ Spintronic devices

++ System integration (Energy, RF & Photonics)+ Micro and Nanosystems for biology health & environment

++ Micro-nano-opto-electronics III-V+ MEMS-NEMS RF

++ Micro-Nano Acoustics+ Micro-Nano Optics

++ Above IC++ Microelectronics++ Photonic systems+ Biochips

Besançon

Grenoble

Lille

Toulouse

Orsay/ Marcoussis

++ Nanophotonics III-V et Si++ Devices and circuits for spintronics

+ optoelectronic devices

++ Si nanoelectronics+ Spintronic devices

++ System integration (Energy, RF & Photonics)+ Micro and Nanosystems for biology health & environment

++ Micro-nano-opto-electronics III-V+ MEMS-NEMS RF

++ Micro-Nano Acoustics+ Micro-Nano Optics

++ Above IC++ Microelectronics++ Photonic systems+ Biochips

L’ACCUEIL DES PROJETS EXOGENESL’ACCUEIL DES PROJETS EXOGENES

Demande Expertise Formalisation Réalisation Facturation et retour

Demandeur extérieur

Demandeur extérieur

Chercheurs du LAASITA du LAASRENATECH

WEB

Chercheurs du LAASITA du LAASRENATECH

WEB

plateformertb@laas.frplateformertb@laas.fr

Cellule d’accueil RTB

8 personnes

Cellule d’accueil RTB

8 personnes

Nomination d’un correspondant RTBNomination d’un correspondant RTB

SupervisionDirectionCOMTEAM

SupervisionDirectionCOMTEAM

•Régulière

•Analyse de la nature du soutien

•Identification de collaborations possibles

GroupesGroupes

- H Granier : responsable de la centrale de technologie- M Dilhan : responsable de l’accueil RTB- C Fourcade : Accueil RTB- D Bourrier : Electrochimie- PF Calmon : Masques- P Dubreuil : Gravures sèches- L Mazenq : Photolithographie- L Salvagnac : Métallisation

EVOLUTION DU EVOLUTION DU NOMBRE NOMBRE DE PROJETS EXOGENESDE PROJETS EXOGENES

13 projets en 200361 projets en 2010

ORIGINE DES ORIGINE DES PROJETS EXOGÈNES PROJETS EXOGÈNES (2010)(2010)

Industriels

Universitaires

Aubière

Nice

Paris

Grenoble

Lyon

Bordeaux

ToulouseMontpellier Marseille

- LGE-IMFT-LPCNO-IRAP-LCC-LNCMI-ICMCB

-ESSILOR-Néosens-3D+-INNOPYS-MEAS-LASELEC

- Kloé

-IMS-ICMCB

- LAM- LTTS (CEA)- CRMCN-L2MP-IBS-IRPHE-CMP-St Gaubain

-LPMC-CHREA

-CEA-IMEP- CIME-AMPERE-Institut Néél-ARNANO--Spintec

-LSA-INSA-INL-LPMCN

-ESPCI-ENS-Institut Curie-Satie-LMPQ-PECSA-LNE-CNAM

- IES

- SILOS technologies

Rennes

-LENS FOTON- INSA

Nancy

-LPMLille

-IEMN

-LASMEA-PHOTONIS

-INSAT-IRSAMC-CEMES-LAPLACE-CIRIMAT-ONERA-LGC-UPS

-InEss--IPCMS

-Biomérieux-3D+-MBDA-EDF-ACM

FEMTOBesançon

LA REGION MIDI LA REGION MIDI PYRENEES ET LA PYRENEES ET LA

PLATEFORMEPLATEFORME

DIVERSES SOURCES DE DIVERSES SOURCES DE SOUTIENSOUTIEN

Soutien direct sur l’infrastructure et les équipements

INFRASTRUCTURE Financement de la plateforme dans le cadre du CPER 2000-2005

EQUIPEMENTS Financement de gros équipements Laboratoire commune ESSILOR/LAAS (900 k€)

Lithographie par projection Cluster dépôts sous vide

Projet Detectmune (60k€) Microscope à force atomique

DIVERSES SOURCES DE DIVERSES SOURCES DE SOUTIENSOUTIEN

Soutien à travers les projets de recherche1850 k€ depuis 2008

Type contrat TitreBDI Elaboration d'une plate-forme de détection HyperFréquences (HF) pour criblage biologique à haut débit

RTT Tenue thermique en atmosphère humide des propriétés optiques et mécaniques de la résine SU-8 pour l'intégration dans les microsystèmes de communications optiques

RTT Initiateur matriciel pyrotechnique de nouvelle génération

RTT OptocontrolRTT Fabrication de commutateurs de puissance à base de GaN/Si

RTT optophaseRTT Sources de référence ultra stables à faible température de bruit pour la radiométrie micro-onde.

RTT Dépôt de Molécules nano-organisées pour microsystèmes. RTT Développement d'un système innovant pour la dosimétrie en radiothérapie Etape 1 : dosimètre in vivo ; mesure de la dose à l'entrée

Electra SMart hARness TechnologiesEranet Système d'imagerie millimétrique à base de MEMS

Iris Architecture sans fil de Surveillance de l'Energie à Bord d'un satelliteElectra Wireless Intra-aircraft Avionics Transmitters In-flight entertainment Communications at 60 GHz

Electra Convertisseurs pour Récupération d'Energie Multisource Embarquée

RTT Impact des techniques d'assemblage sur la fiabilité et le bruit de fonctions hautes fréquences pour télécommunications spatiales

RTT Des NAnoparticules au Tatouage IntelligentRTT Nez Electronique IntégréRTT Capteur de Gaz à transduction RFBDI Parallélisation, déploiement et adaptation automatique de simulation électromagnétique sur une grille de calcul

RTT Nano Analyse MedicaleIris Versatile & connecting Time-frequency GEneratorSHS Stratégies didactiques pour la "promotion" des métiers et filières scientifiques en relation avec les pôles de compétitivité de Midi-Pyrénées : cas des

Nanotechnologies

LA PLATEFORME DANS LA PLATEFORME DANS L’ESPACE EUROPÉEN DE L’ESPACE EUROPÉEN DE

RECHERCHERECHERCHE

L’OUVERTURE VERS L’EXTERIEURL’OUVERTURE VERS L’EXTERIEUR Une longue histoire 1968 : Première salle blanche académique en France ouverte aux

partenariats A travers des projets collaboratifs

1998-2002 : L’une des 6 centrales labellisées par l’UE comme une grande centrale de technologie

2003 : Membre fondateur du réseau Renatech Accueil de projets exogènes au-delà des frontières françaises

•IMPACT offers access to microtechnologies for supporting design and fabrication of your multidisciplinary innovative microsystem projects

•ESO (Allemagne)• Université de Thassalonique (Grèce)• Université de Cambridge (Royaume Uni)• Université de Chalmers (Suède)• HSG IMIT (Allemagne)• IMT (Roumanie)• ..

LE PROJET TRAIN²LE PROJET TRAIN²

Genèse du projet Nombreuses relations transpyrénéennes bilatérales entre

scientifiques Soutiens des institutions par des appels à projet

transfrontaliers Actions prépondérante et concertée des région Midi-Pyrénées et Aragon

pour soutenir le montage du projet présenté à l’UE dans le cadre du programme SUDOE

LE PROJET TRAIN²LE PROJET TRAIN² Le projet TRAIN2 propose la mise en place d’une action concertée

interdisciplinaire en nanosciences et nanotechnologies visant à unifier les efforts dans la région SUDOE au travers de coopérations transnationales

Partenaires :•9 bénéficiaires•4 associés

Premier Bénéficiaire1. Universidad de Zaragoza (ES-Aragón)

Autres bénéficiaires2. CIC nanoGUNE (ES-País Vasco)3. Institut Catala de Nanotecnología (ICN) (ES-Cataluña)4. Universidad Politécnica de Valencia (ES-Comunidad Valenciana)5. Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas (ES-Comunidad de Madrid): ICMA (Aragón) + CNM (Cataluña)6. Instituto de Engenharia de sistemas e Computadores-Microsistemas e Nanotecnologias (PT-Lisboa)7. Centre National de la Recherche Scientifique CNRS-Bordeaux (FR-Aquitaine): CBMN + CRPP8. Centre National de la Recherche Scientifique CNRS-Toulouse (FR-Midi-Pyrénées): CEMES + LAAS + LCC + LPCNO9. Université Montpellier 2 (FR-Languedoc-Rousillon): IES + LCVN

Autres partenaires associésA1. International Iberian Nanotechnology Laboratory (PT-Norte)A2. Universidad de Cantabria (ES-Cantabria)A3. Universidade do Porto (PT-Norte)

LE PROJET TRAIN²LE PROJET TRAIN²

Les groupes de travail Coordination (Leader : UNIZAR)

Réseau de plateformes de nanotechnologie (Leader :LAAS)

Nanosciences (Leader :ICMA)

Education, formation (Leader :INA)

Expertise sur les transferts de nanotechnologies (Leader :LAAS)

Suivi évaluation (Leader :UNIZAR)

Communication (Leader :UNIZAR)

LE PROJET TRAIN²LE PROJET TRAIN² Les objectifs

Sur les aspects Scientifiques Techniques de la formation universitaire valorisation

Mise en commun de compétences

Partage de problématiques

Développement de nouvelles collaborations et projets

Quelques unes des actions Échanges de

personnels Workshops thématiques Information sur les

ressources disponibles Bases de données

Communication Dans des conférences Site web

…..