Réalisé par : Malak TALBI Mohamed Amin EL-AGUECH Sahar JEDIDI

République de la TunisieUniversité de Sousse

Institut Supérieur des Sciences Appliquées et de Technologie de Sousse

Département Génie Electrique

Année universitaire : 2016-2017

Projet : L’évaporation thermique

PlanIntroduction:

L’évaporation thermique

Avantages et inconvénients

Quelques questions

Les techniques de dépôts

Dépôts chimiques en

phases vapeur (CVD)

Dépôts physiques en

phases vapeur (PVD)

Cible(source)

Substrat

Milieu

C’est quoi un dopage ?

Pourquoi on dépose ?

C’est quoi un couche mince ?

e

L’évaporation thermique

Principe:L'évaporation sous vide repose sur deuxprocessus élémentaires : l'évaporation d'unesource chauffée et la condensation à l’état solidede la matière évaporée sur le substrat.

Equipement

Creuset

Matière évaporée

Système de pompageélectrodes en cuivre

Couche en quartz

Cela ressemble quelque peu au procédé qui voitl'eau liquide apparaître sur le couvercle d'unecasserole d'eau bouillante : l'eau liquide estévaporée et se recondense sur le couvercle quiest l'équivalent de la cible du dépôt.

Exemple pour mieux comprendre la technique :

Structure de couches minces déposées par évaporation thermique:La morphologie des films déposés par évaporation thermique estdéfinie principalement par le rapport entre la température dusubstrat, Ts et la température de fusion, Tf du matériau à déposer.

Ceci est illustré schématiquement par le Tableau suivant :

Avantages et inconvénients

(-) Couches minces poreuses car les atomes présentent une basse énergie cinétique (de 0,1 à 0,3eV).

(-)Manque d’adhérance des couches

(+) Facile à utilisé(+) Vitesse de dépôt élevée (de 1 nm/min à 10µm/min)

(+) Industriellement, la technique d’évaporation est très utilisée en optique ,en décoration, pour le revêtement de substrats en feuilles (emballages ..)

Comment peut on obtenir une structure

en multicouches ?

Un système à quatre sources d'évaporation

(multi-creusets)

Utiliser un évaporateur à un seul creuset et faire le dépôt couche par couche , et pour chaque couche en crée le vide .

Comment peut on contrôler l’épaisseur de la couche mince

déposée? Et à quoi sert le système de pompage ?

Microbalance en Quartz

Créer le vide afin de réduire le taux d’impureté et pour obtenir des couches minces de pureté acceptable

Merci pour votre

attention